最新項目！    汙染控制產品

全新的自動化 FOUP 與 Pod 清洗設備，以及新的光罩儲存設備產品。傳載乾淨的材料可將氣態性有機分子汙染物 (AMC) 之有害影響降到最低。深入瞭解

半導體自動化產品樣式

整合型晶圓管理系統使 Spartan™ 晶圓分類機 在最小空間及複雜度下完成它的核心任務─ 以最潔淨和最快方式傳送晶圓。

Jet™ 大氣傳送系統 是適用於所有 Brooks 晶圓處理系統的大氣自動化核心子系統。這是第一台以系統觀點設計的的 EFEM，可讓客戶用共同核心建構各種製程設備。

On-Board® IS XP Cryopump 可提升 PVD 應用的效能，大幅增加生產力，同時維持製程的透明度。同時它還可提供絕佳的能源效率、持續穩定的效能，並可降低持有成本費用，符合您對於 On-Board IS 一貫的期望。

IS-1000 壓縮機適用於 On-Board IS 低溫泵並採用智慧型及高效率壓縮機技術。 IS-1000 壓縮機所佔用的空間與 9600 壓縮機相同，最多可同時支援 6 個 On-Board IS-8F 低溫泵。

影片頻道： 觀賞操作中的操作中的 450mm EFEM Razor 大氣機械手臂和其他產品 。