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              On-Board 水幫浦
              On-Board® 水泵
              On-Board 水幫浦為高效能真空幫浦，可增加水氣吸附速度，大幅改善系統產量並提供更佳的製程結果。
            • 壓縮機
              低溫壓縮機
              壓縮機
              Brooks CTI-Cryogenics 提供各種壓縮機選擇，專為在 On-Board 低溫幫浦、Cryo-Torr 低溫幫浦及/或 On-Board 水幫浦提供最佳效能而設計。整合式低溫幫浦電源頻率變流器可確保最大低溫幫浦效能，提供 50 和 60 Hz 應用，適用於所有 Brooks 真空幫浦。
        • Brooks Polycold
           
          • 低温冷却器與低溫冷凍機
             
            • P-102 低溫冰冷機
              P-102 低溫冰冷機
              P-102 低溫冰冷機
              提供了精巧, 容易操作的液態氮在小型真空系統中。這些低溫系統除了有效地降低成本, 相較於鋼瓶(液態氮)造成的不便性及使用上衍生的所有危險，提供了最好的使用效能。
            • PCC 緊湊型冷卻器
              Polycold PCC 組件冷卻器
              PCC 緊湊型冷卻器
              PCC 實用型冷卻器是屬於精簡、高效能的冷卻系統，引進全新的效能與嚴格可靠的應用，例如高解決方案數位成像、分析化學、生命科學、材料分析、半導體檢查、科學研究及超低溫捕捉水氣。
            • PGC 氣體冰冷機
              PGC Polycold
              PGC 氣體冰冷機
              PGC 氣體冰冷機可冷卻經壓縮的乾燥氣體，例如收集自周遭或低溫環境，未事先冷卻的氮、氬或空氣。 PGC 氣體冰冷機是封閉式迴路冷卻系統，是屬於非重複性循環式, 利用冷媒於氣管內對管內另一管氣體進行熱交換，達到降溫冷卻的效果。
            • MaxCool 低溫冰冷機
              XC 低溫冷卻器
              MaxCool 低溫冰冷機
              Polycold MaxCool 低溫冰冷機是一種封閉式迴路循環低溫系統，可提供高達 2,500 瓦或 4,000 瓦的冷卻最大效能。這些低溫冰冷機可透過如低溫盤管或百葉障板等冷表面的冷凍方式來擷取水汽和其他冷凝物質。MaxCool 低溫冰冷機可用來冷卻及加熱物體，例如半導體晶圓製程中使用的靜電吸盤。
            • PFC 水氣低溫冷卻器
              PFC Polycold
              PFC 水氣低溫冷卻器
              布魯克斯Polycold®PFC水汽Cryochiller有效捕捉水蒸氣，其典型地包括65％至95％的氣體負載在高真空系統。該泵汽分鐘內“開始，”解凍在不到4分鐘，並降低處理更高的質量，更好的附著力，更可重複沉積過程中水蒸氣分壓。
            • Cryodyne 冷凍頭
              Cryodyne 冷凍頭
              Cryodyne 冷凍頭
              Cryodyne 冷凍頭系列根據 Gifford-McMahon 熱力循環學, 屬於封閉式循環氦氣低溫系統。 他們提供從 <10K 至 >80K 的使用範圍，非常適合各種工業與研究機構應用。
            • 冷媒填充收費
              冷媒填充收費
              針對您的型號查閱冷媒填充收費零件編號，以下訂單。
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  • 工業應用
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          應用筆記，技術文件和出版物布魯克斯低溫技術文檔庫。

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          已認證二手設備
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          • Cryopump Repair
             
            • Cryo-Torr® 低溫泵
              CryoTorr 8 低溫泵
              Cryo-Torr® 低溫泵
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
            • On-Board® 低溫泵
              On-Board IS 低溫泵
              On-Board® 低溫泵
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
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              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
            • On-Board® IS 低溫泵
              On-Board IS 320 低溫泵
              On-Board® IS 低溫泵
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
            • 壓縮機
              低溫壓縮機
              壓縮機
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
          • 大氣機械手臂
             
            • AcuLigner
              Aculigner 機器人
              AcuLigner
              AcuLigner™ 大氣晶圓傳載機械手臂是 Brooks Automation 高效能大氣晶圓處理解決方案不可或缺的一部分。這些系統運用直接驅動技術與 on-board 控制器，在效能與生產力上扮演重要角色。由於維修而必須延長停機持間的情況將不再發生。這是為什麼 Brooks 建立固定價格維修計畫來支援 AcuLigner 產品的原因。
            • AcuTran AquaTran
              AcuTran 機械手臂維修
              AcuTran AquaTran
              Brooks 提供階梯式固定價格維修計畫，提高 AcuTran/AquaTran 7 機械手臂系列的操作壽命與生產力。
            • MultiTran 5 VacuTran 5
              MultiTran VacuTran 機械手臂維修
              MultiTran 5 / VacuTran 5
              MTR 5 M 機型 MultiTran® 5 機械手臂，搭載 Brooks 經專利認證的 BiSymmetrik™ 手臂與雙 SEMI/MESC 相容之end effector為真空晶圓傳載機械手臂，能夠在獨立的叢集(cluster)型設備中達到高速傳載。

              VTR 5 M 機型 VacuTran™ 5 機械手臂是高可靠度的晶圓傳載機械手臂，搭載 SEMI/MESC 相容手臂與end effector。VTR 5 M 為頂端固定之機械手臂，採單臂組態，適用於大型傳輸艙模組，例如用於叢集型(cluster)設備的模組。
            • Razor
              Razor 大氣機械手臂
              Reliance ATR 8
              Razor 的模組化設計有可讓客戶做現場更換的裝置 (FRU) 包裝，以不增加平均維修週期時間 (MTTR) 策略，並將非預期的停機時間維持在最低。Brooks 提供固定價格維修計畫來支援 Razor 機器手臂維修。
            • Reliance ATR 8
              Reliance 機械手臂維修
              Reliance ATR 8
              對Reliance ATR 而言，漫長的維修時間將導致成本提高與未計劃的停機時間。 因此，Brooks 推出固定價格維修計畫來支援 Reliance ATR 機械手臂。
          • Equipe / PRI 機械手臂
             
            • AxM 100/200/400
              Equipe PRI AxM 機械手臂
              AxM 100/200/400
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 Brooks、Equipe、PRI 與 Yaskawa 機器人
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
            • DBM 2400/2700
              Equipe PRI DBM 機械手臂維修
              DBM 2400/2700
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 Brooks、Equipe、PRI 與 Yaskawa 機器人
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
            • PRE-200™ PreAligner
              Equipe PRI PreAligner
              PRE-200™ PreAligner
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 Brooks、Equipe、PRI 與 Yaskawa 機器人
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
          • 真空機械手臂
             
            • MagnaTran 7
              MagnaTran 7 真空傳載機械手臂
              MagnaTran 7
              MagnaTran® 7 (MAG 7) 機器人是最先進、可靠的 Brooks 機器人，可在諸如叢集工具等真空與隔離環境中運作。可靠性經實證 > 11.5 MCBF. 使用 MagnaTran 7，漫長的維修循環時間可能導致成本提高與未排程的停機時間。 這是為什麼 Brooks 建立固定價格維修計畫來支援 MagnaTran 7 產品的原因。
            • MagnaTran 8
              MagnaTran 8 機械手臂維修
              MagnaTran 8
              Brooks 提供階梯式固定價格維修服務計畫，增強 MagnaTran 8 真空機器人系列的操作壽命與生產力。
            • VAC 407
              VAC 407 機器人
              VAC 407
              Brooks 提供階梯式固定價格維修服務計畫，增強 VAC-407 真空機器人系列的操作壽命與生產力。
          • 機械手臂控制器
            機械手臂控制器
            機械手臂控制器
            Brooks 提供階梯式固定價格維修服務，提高機械手臂控制器的操作壽命與生產力，並以與以下產品搭配運作：AXM, DBM、AquaTran™/AcuTran® 與 Reliance™ ATR™ 機械手臂系列。
        •  
        • Other Repairs & Exchanges

          大氣與真空機械手臂、真空計、控制器、監控器及低溫真空泵的固定價格維修計畫。

          • 銅離析
            預防非銅製程及相關設備被銅汙染。
          • 全球維修地點
            在美國、歐洲和亞洲的維修地點。
        • 現場支援服務
           
          • 現場支援
          • 服務合約
          • 晶圓廠生產力提升服務
        • 升級服務
           
          • CTI-Cryogenics
             
            • 離子植入機之低溫泵升級
            • PVD設備之低溫泵升級
        • 備品

    • Life Sciences

  • 教育訓練
      • 產品教育與培訓
  • 支援
    • Semiconductor Automation & Cryogenics
        • 技術支援
          • 全球電話號碼
        •  
        • 文件與軟體
          • 低溫泵和壓縮機
            • Polycold & CTI-Cryogenics 低溫泵
            • 壓縮機
          • 低温冷却器與低溫冷凍機
            • CTI-Cryogenics 與 Polycold 手冊
            • 材料安全資料表
            • 冷媒填充收費

  • 公司
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