Brooks Automation
  • 意見回饋
  • 全球辦公室
首頁>Products & Solutions>半導體自動化>晶圓傳載機械手臂>大氣晶圓傳載機械手臂
半導體自動化機器人

半導體自動化

Products & Solutions
  • 半導體自動化
    • 晶圓傳載機械手臂
      • 大氣機械手臂
        • Reliance ATR
        • Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
        • Razor™ 晶圓定位儀
        • Yaskawa MR124 大氣晶圓傳輸機械手臂
        • Yaskawa M201 大氣晶圓傳載機械手臂
      • 真空機械手臂
      • 組件
    • 晶圓搬運系統
    • 半導體汙染控制
    • 工廠自動化解決方案
    • 資材追蹤 和 RFID

大氣機械手臂

Reliance 大氣機械手臂
Reliance 大氣機械手臂
spacer10
剃刀大氣傳輸機器人和模塊
剃刀™大氣
傳送機器人和模塊
Razor™ 定位儀
大氣 Razor™ 晶圓定位儀
  
Yaskawa YEC M201 大氣晶圓傳載機械手臂
Yaskawa (YEC) M201
大氣晶圓傳載機械手臂
Yaskawa YEC MR124 大氣晶圓傳輸機械手臂
Yaskawa (YEC) MR124
大氣晶圓傳輸機械手臂
Copyright © 1993-2018 Brooks Automation, Inc.
使用條款  |   網站地圖  |   隱私權與安全性政策  |   意見回饋  |   與我們聯絡

Facebook  Twitter  LinkedIn  YouTube

 

  • Products & Solutions
    • 半導體自動化
      推薦產品
      Spartan 300 Sorter 4 I/O
      Spartan™ 300mm 4 I/O Sorter
       
        • 晶圓傳載機械手臂
           
          • 大氣機械手臂
             
            • Reliance 大氣機械手臂
              Reliance 大氣機械手臂
              Reliance 大氣機械手臂
              Reliance 大氣機器手臂系列提供經證實的效能、可靠性和超潔淨度，並運用直接驅動技術和數位訊號處理式控制電子裝置。
            • Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
              Razor 機器人 FOUP
              Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
              Razor 機器人提供現今先進半導體製程所需的優異效能、可靠性及超潔淨狀態。Brooks 機械動力裝載系統、經認證的移動技術及可靠的直接驅動機器人、Razor 機器人可讓您快速設定、高重複性及最大上線時間。
            • Razor™ 晶圓定位儀
              大氣 Razor 定位儀
              Razor™ 定位儀
              高效能大氣 Razor 定位儀提供以下的高精密晶圓定位：200mm、300mm 或 450mm 晶圓。Razor 定位儀及其他 Razor 模組專為最佳可製造性而設計，提供高品質的即用性，並支援快速快速產品安裝及更短的導入時間。
            • Yaskawa MR124 機械手臂
              Yaskawa 機器人
              Yaskawa MR124 機械手臂
              最佳體積解決方案，適用於小型設備前端模組 (EFEMs)，特別是在需要邊緣抓取處理時。YEC SemiStar 產品是半導體業 EFEM 解決方案的標竿，同時也是Brooks Automation在大氣環境晶圓傳載機械手臂產品組合中的重要部分。
            • Yaskawa M201 機械手臂
              Yaskawa M201 大氣晶圓傳載機械手臂
              Yaskawa M201 機械手臂
              高效率、快速交換解決方案，特別是與線性車軌選項結合時，效能最佳。YEC SemiStar 產品是半導體業 EFEM 解決方案的標竿，同時也Brooks Automation是大氣晶圓傳載機械手臂投資組合。
          • 真空機械手臂
             
            • MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran 7 BiSymmetrik 機器人
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) 機械手臂包含 MagnaTran 產品系列的所有技術優點，亦已經實證 > 1100 萬故障的平均循環率 (MCBF)。
            • MagnaTran® 7 Frogleg™
              MagnaTran 7 Frogleg 機器人
              MagnaTran® 7 Frogleg™
              MagnaTran® 7 Frogleg™ (MAG 7 F) 機器人結合所有 MagnaTran 產品系列的技術優點，亦已經實證 > 1100 萬故障的平均循環率 (MCBF)。
            • MagnaTran® 7 Leapfrog®
              MagnaTran 7 Leapfrog 機器人
              MagnaTran® 7 Leapfrog®
              MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 機械手臂保有 MagnaTran 產品系列的所有特色與優點，同時在嚴苛的叢集機台中，具有最高可用的流量。
            • MagnaTran® 7 SCARA
              MagnaTran 7 SCARA 機器人
              MagnaTran® 7 SCARA
              MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) 機器人結合所有 MagnaTran 產品系列的技術優點，產生經實證 > 1100 萬故障的平均循環(MCBF)。
            • MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran 8 QuadraFly 機器人
              MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran® 8 QuadraFly 真空機器人運用經實證的 SCARA 手臂技術與可靠的直接驅動機器人，以小型封閉直徑範圍在真空中提供四片晶圓的同時交換功能。
            • MagnaTran® 8 Radius™
              MagnaTran 8 Radius 機器人
              MagnaTran® 8 Radius™
              雙臂 MagnaTran® 8 Radius™ 機器人將 MagnaTran 經實證的優點、直接驅動技術延伸至經專利驗證的三度空間交換。 此外，MagnaTran 利用經實證的 SCARA 手臂技術，在小型封閉直徑範圍內提供 4 秒快速交換。
          • 組件
             
            • InLigner™
              Inligner
              InLigner
              InLigner 結合 MagnaTran 機器人，為 100 至 200 mm 的 SEMI 標準與 Jeida 標準晶圓提供晶圓置中與邊緣基準，含凹槽或平刃基準。特殊設定亦適用於搭配透明及/或方形晶圓，包括 quartz 光罩，最大到 6 吋方形。
            • Fusion™控制器
              Fusion 控制器
              Fusion 控制器
              最具彈性且完整的自動化控制解決方案。Fusion 控制器提供最大效能與上線時間。 Fusion 控制器可完整自訂且非常容易使用，同時加快上市時間與工具獲利率。
        • 晶圓搬運系統
           
          • 真空系統
             
            • VCE 加載鎖
              VCE
              真空盒升降機 (VCE) 加載鎖
              VCE 6 真空晶圓盒升降機加載鎖提供四種款式可滿足您的晶圓製造環境，可讓安全、乾淨的 AGV、RGV 或人力操作員運輸最多 200mm、SEMI 標準的晶圓盒。
            • Marathon™ 2 運輸系統
              Marathon 2
              Marathon 2 運輸系統
              Brooks先進的真空晶圓傳輸技術，非常適合用於半導體晶片加工和其他複雜的製造環境中的自動化工具的應用。我們提供一系列系統，可用在 100mm 到 450mm 的晶圓傳送，多種設定與架構以符合特定製造環境與流程要求。
            • Marathon™ Express
              Marathon Express
              Marathon Express 真空運輸系統
              Marathon™ Express ®  為模組化、可設定的真空運輸系統 (VTS) ，並針對優異真空效益與 100mm、125mm、150mm 及 200mm 晶圓尺寸應用的高流量最佳化。
          • 大氣晶圓傳載系統
             
            • Jet™ 大氣傳輸系統
              Jet 2
              Jet 大氣傳輸系統
              Jet™ 是適用於所有 Brooks 晶圓搬運系統的核心氣體自動化子系統。 這是第一部針對系統層級設計的 EFEM，可讓客戶針對常用核心建立流程工具。Jet 具備依據業界標準的彈性、模組化基礎結構， 促進快速設定、縮短的循環時間，以及與現有晶圓廠設備與流程的完美整合。
        • RFID和紅外資產跟踪
        • 工廠自動化解決方案
           
          • Spartan 分類機
            Spartan 300mm 分類機 4 I/O
            Spartan 分類機
            整合晶圓管理系統運用最小模組去完成複雜的核心工作,以無塵且快速的方式搬移晶圓。提供以改良的可靠性與最大化效率，同時提供業界領先的無塵狀態與最低粒子層級。
          • Load Ports
             
            • IsoPort™ 300 Load Ports
              IsoPort
              IsoPort 300 Load Port
              高度可設定、自動化的晶圓處理解決方案，可輕鬆地與任何工具整合。移轉至 300 mm 晶圓的設備製造者與晶片製造者提供許多進階優點。
            • Vision™ 300 Load Port
              Vision Load Port 使用 FOUP
              Vision 300 Load Port
              Vision load port 模組是 Brooks 生產的最新世代加載機模組。此為一兼具智能與彈性的原廠介面模組，適用於 300mm 與 450 mm 工具自動化。 不像 LPMs 般需要大量導入時間進行設定與整合，Vision load port 是專為互通性最大化、可交換性完美化，以及設定簡易而設計。
            • Certon™ 450 Load Port
              Certon 450mm Load Port
              Certon™ 450 Load Port
              Certon™ 450mm Load Port 相容於 450mm FOUP、FOSB 及 MAC (多重應用 載具) 標準。
          • 光罩傳載
             
            • M2 光罩盒更換設備
              M2 光罩盒更換設備
              M2 光罩盒更換設備
              Brooks M2 光罩換盒設備是一款光罩盒交換和光罩檢查的系統。 每一種特定 I/O 介面, 提供光罩更換傳送盒至適用所有掃描機/步進機的傳送盒，例如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 光罩盒等)。
            • 窄光罩索引器
              窄光罩索引器
              窄光罩索引器
              改善光罩存貨的效率。可保護光罩不被來自各種來源的微粒汙染與氣態性有機分子的汙染，同時為照相平版印刷工具提供標準介面。
          • SMIF 解決方案
             
            • SMIF Load Port Transfer (LPT)
              SMIF 加載埠傳輸
              SMIF Load Port Transfer (LPT)
              SMIF-I/O 符合人體工學設計，輕鬆地整合 SMIF-Pod 晶圓匣至各種 200mm 與 150mm 晶圓處理及度量衡工具的裝載與卸載。
            • SMIF-INX 索引器
              SMIF INX 索引器
              SMIF-INX 索引器
              針對提供固定式Z 軸晶圓清點或Z 軸晶圓操作裝置定位至固定平面而設計。
            • VersaPort™ 2200 Load Port
              VersaPort 2200 SMIF Load Port
              VersaPort 2200 Load Port
              業界最先進的 200mm 標準機械介面 (SMIF) I/O 處理工具及 load port 開啟器。當設計成適用於 200mm 至 300mm 過渡的「橋接工具」，VersaPort 2200 也會為開啟晶圓匣至 SMIF I/O 的處理提供解決方案。

    • 半導體汙染控制
      推薦產品
      M800
      M800 全自動 300mm FOUP 清洗設備
       
        • 清洗設備
          • FOUP / Pod 清洗設備
             
            • M800 300mm FOUP 清洗機
              M800
              M800 300mm FOUP 清洗機
              M800 全自動 300mm FOUP 清洗設備具有最高的FOUP清洗產量及最佳PARTICLE和 AMC 清洗效能，並有效的控制濕度。
            • M330 全自動 FOUP 清洗設備
              M330 FOUP 清洗設備
              M330 FOUP 全自動清洗設備
              M330 清洗設備是世界頂級符合 FOUP 的全自動系統，可提供優異的清洗和乾燥效能，操作簡易又符合成本效益。
            • M600 全自動 Pod 清洗設備
              M600
              M600 全自動 Pod 清洗設備
              M600 全自動清洗設備是 FOUP、FOSB 或 RSP200 自動清洗的完美解決方案。 在手動模式下，可清洗所有類型的光罩或晶圓載具。
            • M300 半自動 FOUP/Pod 清洗設備
              M300
              M300 半自動 FOUP/Pod 清洗設備
              M300 半自動設備是一款可廣泛應用的離心力清洗機，可清洗所有類型的載具 (SMIF, CASSETTES, FOUP、FOSB、RSP 和 Clamshell)。 它具有卓越的清洗能力和乾燥效果。
          • EUV Pod 清洗設備
            M1000
            EUV Pod 清洗設備
            M1000 全自動 EUV Pod 清洗設備將 EUV 或 RSP200 以每個零件的個別清洗方式表現出最佳的清洗效能。
        • 乾淨的儲存設備
          • 光罩儲存設備
            • M1500 半自動
              M1500
              M1500 半自動光罩盒儲存設備
              Brooks 半自動 M1500 光罩盒儲存設備的處存量可儲存多達 1500 個光罩。光罩盒 ID 經過判讀，所含資料檔案則被記錄至設備資料庫中。
            • M1900 光罩儲存設備
              M1900 全自動
              M1900 光罩儲存設備
              四種不同形式 M1900 光罩儲存設備：全自動Semi-Bare、全自動 RSP150、全自動 EUV Pod 儲存設備、半自動。
          • Reticle Storage
            Reticle Storage
            • RPS-C Automated Storage and Management System for SMIF Pods
              RPS-C Automated storage and management system for SMIF pods
              RPS-C Automated Storage and Management System for SMIF Pods
              The RPS-C is a fully automated standalone storage and inventory management system for reticle SMIF pods (RSP) with optional xCDA or N2 purge.
            • RS Bare Reticle Stocker Family
              RS Scalable high density bare reticle stocker family
              RS Bare Reticle Stocker Family
              The RS family provides a fully automated reticle management system that combines a sorter with a stocker capacity up to 2900 reticles.
            • RS-C Reticle Storage and Inspection System
              RS-C Flexible and scalable reticle storage and inspection system
              RS-C Reticle Storage and Inspection System
              The RS-C is a fully automated, highly flexible standalone storage and inspection system for 6".
            • RX Reticle Stocker and Carrier Buffer
              RX The innovative combination of reticle stocker and carrier buffer
              RX Reticle Stocker and Carrier Buffer
              The RX family is an innovative combination of reticle stocker and carrier buffer for managing the reticles throughout the fab.
            • RXi Reticle Inspection, Sorting and Storage Platform
              RXi Reticle inspection, sorting and storage platform
              RXi Reticle Inspection, Sorting and Storage Platform
              The RXi is a fully automated standalone inspection system for 6”.
        •  
          • 晶圓載具和晶舟
            • 光罩盒
              Mega 光罩盒
              光罩盒
              • Mega 光罩盒
              • A Rapid
              • B Ultra
              • C Swift
              • D Twin
              • 客製化
            • 晶圓載具
              晶圓載具 8"
              晶圓載具
              • 6" 晶圓載具
              • 8" 晶圓載具
            • 晶圓傳送盒
              晶圓載具傳送盒
              晶圓傳送盒
              • 200mm 晶圓傳送盒
              • 200mm 晶圓單片傳送盒
          • 光罩傳載
             
            • M2 光罩盒更換設備
              M2 光罩換盒設備
              M2 光罩盒更換設備
              Brooks M2 光罩換盒設備是一款光罩盒交換和光罩檢查的系統。 每一種特定 I/O 介面, 提供光罩更換傳送盒至適用所有掃描機/步進機的傳送盒，例如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 光罩盒等)。
            • 窄光罩索引器
              窄光罩索引器
              窄光罩索引器
              改善光罩存貨的效率。可保護光罩不被來自各種來源的微粒汙染與氣態性有機分子的汙染，同時為照相平版印刷工具提供標準介面。
            • ZARIS 光罩自動化系統
              ZARIS 光罩自動化系統
              ZARIS 光罩自動化系統
              可靠地自動化管理 5” 及 6” 運送與搬運光罩晶圓盒。

    • Life Sciences

    • 低溫技術
      推薦產品
      On-Board IS 低溫泵
      On-Board® IS 低溫泵
       
        • Brooks CTI-Cryogenics
           
          • 低溫泵和壓縮機
             
            • On-Board® IS 低溫泵系統
              On-Board IS 320 低溫泵
              On-Board® IS 低溫泵系統
              智慧型 On-Board IS 超低溫幫浦系統運用創新的高效能低溫技術，可提供無可匹敵的真空效能與能源效率。 經國際專利認證的分散式控制系統可監控並持續調整每一個超低溫幫浦的元件，並維護系統的最佳化真空效能，以取得優異的製程一致性。
            • On-Board® 低溫泵
              On-Board IS 低溫泵
              On-Board® 低溫泵
              On-Board 超低溫真空幫浦促進高速整合並改善系統作業，已取得高穩定性與高效能的世界級水準。On-Board 超低溫幫浦的高效能，是配備了完全整合式的控制模組，可提供優異的運轉時間並支援周邊設備，提升整體機台的生產力與運轉時間。
            • Cryo-Torr® 低溫泵
              CryoTorr 8 低溫泵
              Cryo-Torr® 低溫泵
              Cryo-Torr 超低溫幫浦為真空製程應用提供無塵、可靠、高速的抽氣效能。 如需更高彈性，您可以新增您自訂的控制器與支援周邊設備，以滿足您的特定應用需求。
            • On-Board® 水泵
              On-Board 水幫浦
              On-Board® 水泵
              On-Board 水幫浦為高效能真空幫浦，可增加水氣吸附速度，大幅改善系統產量並提供更佳的製程結果。
            • 壓縮機
              低溫壓縮機
              壓縮機
              Brooks CTI-Cryogenics 提供各種壓縮機選擇，專為在 On-Board 低溫幫浦、Cryo-Torr 低溫幫浦及/或 On-Board 水幫浦提供最佳效能而設計。整合式低溫幫浦電源頻率變流器可確保最大低溫幫浦效能，提供 50 和 60 Hz 應用，適用於所有 Brooks 真空幫浦。
        • Brooks Polycold
           
          • 低温冷却器與低溫冷凍機
             
            • P-102 低溫冰冷機
              P-102 低溫冰冷機
              P-102 低溫冰冷機
              提供了精巧, 容易操作的液態氮在小型真空系統中。這些低溫系統除了有效地降低成本, 相較於鋼瓶(液態氮)造成的不便性及使用上衍生的所有危險，提供了最好的使用效能。
            • PCC 緊湊型冷卻器
              Polycold PCC 組件冷卻器
              PCC 緊湊型冷卻器
              PCC 實用型冷卻器是屬於精簡、高效能的冷卻系統，引進全新的效能與嚴格可靠的應用，例如高解決方案數位成像、分析化學、生命科學、材料分析、半導體檢查、科學研究及超低溫捕捉水氣。
            • PGC 氣體冰冷機
              PGC Polycold
              PGC 氣體冰冷機
              PGC 氣體冰冷機可冷卻經壓縮的乾燥氣體，例如收集自周遭或低溫環境，未事先冷卻的氮、氬或空氣。 PGC 氣體冰冷機是封閉式迴路冷卻系統，是屬於非重複性循環式, 利用冷媒於氣管內對管內另一管氣體進行熱交換，達到降溫冷卻的效果。
            • MaxCool 低溫冰冷機
              XC 低溫冷卻器
              MaxCool 低溫冰冷機
              Polycold MaxCool 低溫冰冷機是一種封閉式迴路循環低溫系統，可提供高達 2,500 瓦或 4,000 瓦的冷卻最大效能。這些低溫冰冷機可透過如低溫盤管或百葉障板等冷表面的冷凍方式來擷取水汽和其他冷凝物質。MaxCool 低溫冰冷機可用來冷卻及加熱物體，例如半導體晶圓製程中使用的靜電吸盤。
            • PFC 水氣低溫冷卻器
              PFC Polycold
              PFC 水氣低溫冷卻器
              布魯克斯Polycold®PFC水汽Cryochiller有效捕捉水蒸氣，其典型地包括65％至95％的氣體負載在高真空系統。該泵汽分鐘內“開始，”解凍在不到4分鐘，並降低處理更高的質量，更好的附著力，更可重複沉積過程中水蒸氣分壓。
            • Cryodyne 冷凍頭
              Cryodyne 冷凍頭
              Cryodyne 冷凍頭
              Cryodyne 冷凍頭系列根據 Gifford-McMahon 熱力循環學, 屬於封閉式循環氦氣低溫系統。 他們提供從 <10K 至 >80K 的使用範圍，非常適合各種工業與研究機構應用。
            • 冷媒填充收費
              冷媒填充收費
              針對您的型號查閱冷媒填充收費零件編號，以下訂單。
        •  
           

  • 工業應用
    • 半導體工具自動化
        • 顯示器製造
           
        • LED
           
        • 晶圓級封裝
           

    • 一般真空與低溫
        • 技術資料庫
           
          應用筆記，技術文件和出版物布魯克斯低溫技術文檔庫。

    • Life Sciences

  • 服務
    • 半導體
        • 聯絡業務行政人員
          業務行政電話號碼與營業時間
        • 設備翻新
           
          • 機器人
          • 低溫泵和壓縮機
          • 低溫冷卻器和CryoTiger
          • 閥、控制器與模組
        • 已認證二手設備
          已認證二手設備
          Certified Used Automation and Vacuum Products
        • 維修與交換
          • Cryopump Repair
             
            • Cryo-Torr® 低溫泵
              CryoTorr 8 低溫泵
              Cryo-Torr® 低溫泵
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
            • On-Board® 低溫泵
              On-Board IS 低溫泵
              On-Board® 低溫泵
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
            • On-Board® IS 低溫泵
              On-Board IS 320 低溫泵
              On-Board® IS 低溫泵
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
            • 壓縮機
              低溫壓縮機
              壓縮機
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
          • 大氣機械手臂
             
            • AcuLigner
              Aculigner 機器人
              AcuLigner
              AcuLigner™ 大氣晶圓傳載機械手臂是 Brooks Automation 高效能大氣晶圓處理解決方案不可或缺的一部分。這些系統運用直接驅動技術與 on-board 控制器，在效能與生產力上扮演重要角色。由於維修而必須延長停機持間的情況將不再發生。這是為什麼 Brooks 建立固定價格維修計畫來支援 AcuLigner 產品的原因。
            • AcuTran AquaTran
              AcuTran 機械手臂維修
              AcuTran AquaTran
              Brooks 提供階梯式固定價格維修計畫，提高 AcuTran/AquaTran 7 機械手臂系列的操作壽命與生產力。
            • MultiTran 5 VacuTran 5
              MultiTran VacuTran 機械手臂維修
              MultiTran 5 / VacuTran 5
              MTR 5 M 機型 MultiTran® 5 機械手臂，搭載 Brooks 經專利認證的 BiSymmetrik™ 手臂與雙 SEMI/MESC 相容之end effector為真空晶圓傳載機械手臂，能夠在獨立的叢集(cluster)型設備中達到高速傳載。

              VTR 5 M 機型 VacuTran™ 5 機械手臂是高可靠度的晶圓傳載機械手臂，搭載 SEMI/MESC 相容手臂與end effector。VTR 5 M 為頂端固定之機械手臂，採單臂組態，適用於大型傳輸艙模組，例如用於叢集型(cluster)設備的模組。
            • Razor
              Razor 大氣機械手臂
              Reliance ATR 8
              Razor 的模組化設計有可讓客戶做現場更換的裝置 (FRU) 包裝，以不增加平均維修週期時間 (MTTR) 策略，並將非預期的停機時間維持在最低。Brooks 提供固定價格維修計畫來支援 Razor 機器手臂維修。
            • Reliance ATR 8
              Reliance 機械手臂維修
              Reliance ATR 8
              對Reliance ATR 而言，漫長的維修時間將導致成本提高與未計劃的停機時間。 因此，Brooks 推出固定價格維修計畫來支援 Reliance ATR 機械手臂。
          • Equipe / PRI 機械手臂
             
            • AxM 100/200/400
              Equipe PRI AxM 機械手臂
              AxM 100/200/400
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 Brooks、Equipe、PRI 與 Yaskawa 機器人
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
            • DBM 2400/2700
              Equipe PRI DBM 機械手臂維修
              DBM 2400/2700
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 Brooks、Equipe、PRI 與 Yaskawa 機器人
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
            • PRE-200™ PreAligner
              Equipe PRI PreAligner
              PRE-200™ PreAligner
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 Brooks、Equipe、PRI 與 Yaskawa 機器人
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
          • 真空機械手臂
             
            • MagnaTran 7
              MagnaTran 7 真空傳載機械手臂
              MagnaTran 7
              MagnaTran® 7 (MAG 7) 機器人是最先進、可靠的 Brooks 機器人，可在諸如叢集工具等真空與隔離環境中運作。可靠性經實證 > 11.5 MCBF. 使用 MagnaTran 7，漫長的維修循環時間可能導致成本提高與未排程的停機時間。 這是為什麼 Brooks 建立固定價格維修計畫來支援 MagnaTran 7 產品的原因。
            • MagnaTran 8
              MagnaTran 8 機械手臂維修
              MagnaTran 8
              Brooks 提供階梯式固定價格維修服務計畫，增強 MagnaTran 8 真空機器人系列的操作壽命與生產力。
            • VAC 407
              VAC 407 機器人
              VAC 407
              Brooks 提供階梯式固定價格維修服務計畫，增強 VAC-407 真空機器人系列的操作壽命與生產力。
          • 機械手臂控制器
            機械手臂控制器
            機械手臂控制器
            Brooks 提供階梯式固定價格維修服務，提高機械手臂控制器的操作壽命與生產力，並以與以下產品搭配運作：AXM, DBM、AquaTran™/AcuTran® 與 Reliance™ ATR™ 機械手臂系列。
        •  
        • Other Repairs & Exchanges

          大氣與真空機械手臂、真空計、控制器、監控器及低溫真空泵的固定價格維修計畫。

          • 銅離析
            預防非銅製程及相關設備被銅汙染。
          • 全球維修地點
            在美國、歐洲和亞洲的維修地點。
        • 現場支援服務
           
          • 現場支援
          • 服務合約
          • 晶圓廠生產力提升服務
        • 升級服務
           
          • CTI-Cryogenics
             
            • 離子植入機之低溫泵升級
            • PVD設備之低溫泵升級
        • 備品

    • Life Sciences

  • 教育訓練
      • 產品教育與培訓
  • 支援
    • Semiconductor Automation & Cryogenics
        • 技術支援
          • 全球電話號碼
        •  
        • 文件與軟體
          • 低溫泵和壓縮機
            • Polycold & CTI-Cryogenics 低溫泵
            • 壓縮機
          • 低温冷却器與低溫冷凍機
            • CTI-Cryogenics 與 Polycold 手冊
            • 材料安全資料表
            • 冷媒填充收費

  • 公司
    • 關於 Brooks
      Brooks Automation, Inc.
      Brooks Automation HQ Chelmsford MA USA
       
        • 關於 Brooks
           
          •  
             
            • 管理團隊
            • 董事會
            • 公司治理
            • 企業責任
            • 品質保證
            • 永續發展
            • 條款和條件
            • Corporate Logo

    • 與我們聯絡及全球辦公室
      Brooks Automation, Inc.
      Brooks Automation HQ Chelmsford MA USA
       
        • 與我們聯絡及全球辦公室
          • 全球辦公室
            • 亞洲
            • 歐洲
            • 北美
          • 儀器產品代理商
          • 與我們聯絡與資訊索取
          • 網站意見回饋

    • 新聞與活動
      Brooks Automation, Inc.
      Brooks Automation HQ Chelmsford MA USA
       
        • 新聞、活動與網路研討會
          •  
            • 新聞與新聞稿
            • 活動

    • 投資人
      Brooks Automation, Inc.
      Brooks Automation HQ Chelmsford MA USA
       
        • 投資人
          •  
            • 股票資訊
            • 新聞稿
            • 活動網路廣播
            • 公司治理
            • 投資者簡報
            • 季度年度報告
        •  
          •  
            • SEC 資料
            • 基本面
            • 分析師報導
            • 電子郵件通知
            • 聯絡投資人關係
            • 索取紙本資料

    • 職涯發展
      Brooks Automation, Inc.
      Brooks Automation HQ Chelmsford MA USA
       
        • 職涯發展
           
           

  • 我的 Brooks
      • 貨運

        新產品、維修與備品零組件保固的貨運政策。

        • 貨運追蹤
          追蹤您的貨運。
      • 供應商

        Brooks 供應商的工具與資訊。

        • 採購條款和條件
          英文、德文和日文版採購條款和條件。
        • 供應鏈政策
          供應鏈社會與環境責任政策
        • 文件

          Procedures, Forms & Templates, FAQ

        • 供應商發起行動要求

          Supplier Initiated Action Request (SIAR) web form.

        • 供應商入口網站
          策略性供應鏈資訊與資源入口網站。
  • 與我們聯絡
    • Brooks Automation

    • Brooks Life Sciences

Portions of this page translated by Google.