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              布魯克斯Polycold®PFC水汽Cryochiller有效捕捉水蒸氣，其典型地包括65％至95％的氣體負載在高真空系統。該泵汽分鐘內“開始，”解凍在不到4分鐘，並降低處理更高的質量，更好的附著力，更可重複沉積過程中水蒸氣分壓。
            • Cryodyne 冷凍頭
              Cryodyne 冷凍頭
              Cryodyne 冷凍頭
              Cryodyne 冷凍頭系列根據 Gifford-McMahon 熱力循環學, 屬於封閉式循環氦氣低溫系統。 他們提供從 <10K 至 >80K 的使用範圍，非常適合各種工業與研究機構應用。
            • 冷媒填充收費
              冷媒填充收費
              針對您的型號查閱冷媒填充收費零件編號，以下訂單。
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  • 工業應用
    • 半導體工具自動化
        • 顯示器製造
           
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        • 晶圓級封裝
           

    • 一般真空與低溫
        • 技術資料庫
           
          應用筆記，技術文件和出版物布魯克斯低溫技術文檔庫。

    • Life Sciences

  • 服務
    • 半導體
        • 聯絡業務行政人員
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          • 低溫冷卻器和CryoTiger
          • 閥、控制器與模組
        • 已認證二手設備
          已認證二手設備
          Certified Used Automation and Vacuum Products
        • 維修與交換
          • Cryopump Repair
             
            • Cryo-Torr® 低溫泵
              CryoTorr 8 低溫泵
              Cryo-Torr® 低溫泵
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
            • On-Board® 低溫泵
              On-Board IS 低溫泵
              On-Board® 低溫泵
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
            • On-Board® IS 低溫泵
              On-Board IS 320 低溫泵
              On-Board® IS 低溫泵
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
            • 壓縮機
              低溫壓縮機
              壓縮機
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
              • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
          • 大氣機械手臂
             
            • AcuLigner
              Aculigner 機器人
              AcuLigner
              AcuLigner™ 大氣晶圓傳載機械手臂是 Brooks Automation 高效能大氣晶圓處理解決方案不可或缺的一部分。這些系統運用直接驅動技術與 on-board 控制器，在效能與生產力上扮演重要角色。由於維修而必須延長停機持間的情況將不再發生。這是為什麼 Brooks 建立固定價格維修計畫來支援 AcuLigner 產品的原因。
            • AcuTran AquaTran
              AcuTran 機械手臂維修
              AcuTran AquaTran
              Brooks 提供階梯式固定價格維修計畫，提高 AcuTran/AquaTran 7 機械手臂系列的操作壽命與生產力。
            • MultiTran 5 VacuTran 5
              MultiTran VacuTran 機械手臂維修
              MultiTran 5 / VacuTran 5
              MTR 5 M 機型 MultiTran® 5 機械手臂，搭載 Brooks 經專利認證的 BiSymmetrik™ 手臂與雙 SEMI/MESC 相容之end effector為真空晶圓傳載機械手臂，能夠在獨立的叢集(cluster)型設備中達到高速傳載。

              VTR 5 M 機型 VacuTran™ 5 機械手臂是高可靠度的晶圓傳載機械手臂，搭載 SEMI/MESC 相容手臂與end effector。VTR 5 M 為頂端固定之機械手臂，採單臂組態，適用於大型傳輸艙模組，例如用於叢集型(cluster)設備的模組。
            • Razor
              Razor 大氣機械手臂
              Reliance ATR 8
              Razor 的模組化設計有可讓客戶做現場更換的裝置 (FRU) 包裝，以不增加平均維修週期時間 (MTTR) 策略，並將非預期的停機時間維持在最低。Brooks 提供固定價格維修計畫來支援 Razor 機器手臂維修。
            • Reliance ATR 8
              Reliance 機械手臂維修
              Reliance ATR 8
              對Reliance ATR 而言，漫長的維修時間將導致成本提高與未計劃的停機時間。 因此，Brooks 推出固定價格維修計畫來支援 Reliance ATR 機械手臂。
          • Equipe / PRI 機械手臂
             
            • AxM 100/200/400
              Equipe PRI AxM 機械手臂
              AxM 100/200/400
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 Brooks、Equipe、PRI 與 Yaskawa 機器人
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
            • DBM 2400/2700
              Equipe PRI DBM 機械手臂維修
              DBM 2400/2700
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 Brooks、Equipe、PRI 與 Yaskawa 機器人
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
            • PRE-200™ PreAligner
              Equipe PRI PreAligner
              PRE-200™ PreAligner
              • 一站式全球化選購服務，提供種類最多的 Brooks、Equipe、PRI 與 Yaskawa 機器人
              • 原始設備製造商：產品技術專家與設計工程師
              • 在所有設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
          • 真空機械手臂
             
            • MagnaTran 7
              MagnaTran 7 真空傳載機械手臂
              MagnaTran 7
              MagnaTran® 7 (MAG 7) 機器人是最先進、可靠的 Brooks 機器人，可在諸如叢集工具等真空與隔離環境中運作。可靠性經實證 > 11.5 MCBF. 使用 MagnaTran 7，漫長的維修循環時間可能導致成本提高與未排程的停機時間。 這是為什麼 Brooks 建立固定價格維修計畫來支援 MagnaTran 7 產品的原因。
            • MagnaTran 8
              MagnaTran 8 機械手臂維修
              MagnaTran 8
              Brooks 提供階梯式固定價格維修服務計畫，增強 MagnaTran 8 真空機器人系列的操作壽命與生產力。
            • VAC 407
              VAC 407 機器人
              VAC 407
              Brooks 提供階梯式固定價格維修服務計畫，增強 VAC-407 真空機器人系列的操作壽命與生產力。
          • 機械手臂控制器
            機械手臂控制器
            機械手臂控制器
            Brooks 提供階梯式固定價格維修服務，提高機械手臂控制器的操作壽命與生產力，並以與以下產品搭配運作：AXM, DBM、AquaTran™/AcuTran® 與 Reliance™ ATR™ 機械手臂系列。
        •  
        • Other Repairs & Exchanges

          大氣與真空機械手臂、真空計、控制器、監控器及低溫真空泵的固定價格維修計畫。

          • 銅離析
            預防非銅製程及相關設備被銅汙染。
          • 全球維修地點
            在美國、歐洲和亞洲的維修地點。
        • 現場支援服務
           
          • 現場支援
          • 服務合約
          • 晶圓廠生產力提升服務
        • 升級服務
           
          • CTI-Cryogenics
             
            • 離子植入機之低溫泵升級
            • PVD設備之低溫泵升級
        • 備品

    • Life Sciences

  • 教育訓練
      • 產品教育與培訓
  • 支援
    • Semiconductor Automation & Cryogenics
        • 技術支援
          • 全球電話號碼
        •  
        • 文件與軟體
          • 低溫泵和壓縮機
            • Polycold & CTI-Cryogenics 低溫泵
            • 壓縮機
          • 低温冷却器與低溫冷凍機
            • CTI-Cryogenics 與 Polycold 手冊
            • 材料安全資料表
            • 冷媒填充收費

  • 公司
    • 關於 Brooks
      Brooks Automation, Inc.
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        • 關於 Brooks
           
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