M600 Automatic RSP Cleaner

M600全自動中央強力清潔器是RSP150或RSP200自動清潔的完美解決方案。在手動模式下,可以清潔所有類型的掩模版或晶片載體。

重要特色

  • Fully-automated cleaning of RSP150 or RSP200
  • 所有光罩/晶圓載具的半自動清洗
  • 內部暫純區
  • IR 乾燥技術
  • 可切換半自動清洗模式
  • OHT 介面
  • Class 1 環境 及 ESD
  • SECS/GEM 介面符合SEMI Standard