M1000 EUV Pod 清洗設備

M1000 全自動 EUV Pod 清洗設備將 EUV 或 RSP200 以每個零件的個別清洗方式表現出最佳的清洗效能。

重要特色

• 高壓 DIW 沖洗
• Lid 及 Shell 分離清洗
• 真空移除 AMC 化合物汙染  
• IR 乾燥技術
• Load port 結合 N2/XCDA Purge
• OHT 介面
• Class 1 設備內環境
• SECS/GEM 介面符合SEMI Standard