半導體工具自動化

半導體應用需要高精準度的自動化,以及具可靠、可預測性的真空效能,使晶圓傳送能夠在潔淨及受控制的環境中傳送。Brooks 提供一整套完整的半導體自動化控制解決方案,可作為真空和大氣晶圓傳送的獨立組件或整合系統的一部分。

憑藉著我們備受肯定的超低溫冷凍技術和領導地位,Brooks 的真空泵浦、冷卻和真空抽水氣泵解決方案即使在要求最為嚴苛的製程應用中仍可提供可預測、無塵的真空或冷卻效能。此外,Brooks 真空儀器解決方案還可提供特定的壓力測量、壓力控制和真空品質測量。

無論是 Etch、CVD、ALD、PVD、微影技術、潔淨技術和量測以及檢測應用方面,Brooks 都具備數年的特定應用解決方案經驗,且憑藉著無可匹敵的技術領導地位、產業專業和絕佳的組合而備受肯定:

Brooks has been the leading provider of automation solutions to the semiconductor market for over 20 years.  As wafer size has migrated from 100mm thru 300mm substrates, Brooks leads the transition with proven solutions and components. As the industry transitions to 450mm wafers, Brooks is once again ready to partner with customers to implement 450mm automation either as select components or as part of complete automation systems.

 

Brooks 擁有具備豐富知識和經驗的全球服務支援團隊,分佈在美國、歐洲、中國、台灣、日本、新加坡和韓國。