大氣與真空機器人翻新服務

Brooks 針對下列產品於以下地點提供真空與大氣晶圓傳載機械手臂翻新服務:

美國,麻州切爾姆斯福德

德國,耶拿

ABM 105
ABM-200、300 與 ABM-400
AcuLine
Aqua Tran
ATM105-1-CE
ATM-200、300 與 400
Axis Arms 3、4 及 5
DBM 2700、2406 與 2407
FIXLOAD 5
IRT
Load Ports
MagnaTran / Mag 7
MagnaTran / Mag 8
MTR 5 / VTR 5
Pre-200 & Pre-300
Razor
Reliance 驅動
系列 8 控制器
滑軌
VAC-407
VCE 6 與 VCE 4
VCE 升降模組
Vision 加載機
WTM-107
WTM-511
ABM 105
ABM-200、300 與 ABM-400
Aculiner
ATM105-1-CE
ATM-200、300 與 400
DBM 2700、2406 與 2407
ERGOSPEED 3600
ERGOSPEED 3800
Filter-Fan-Units
FIXLOAD
FIXMAP
ISE 150
ISE R150 (Reticle Indexer)
ISE200
MagnaTran / Mag 7
MTR 5 / VTR 5
MTX 300mm 分揀器
Pre-200 & Pre-300
Reliance
SSM200、200mm SMIF 分揀器
滑軌
spacer10

中國,上海

韓國

AcuLiner
ATM-400、ABM-400
DBM 2406
Equipe 控制器
MagnaTran / Mag 7
MagnaTran / Mag 8
PreAligner 300
Reliance ATR8
系列 8 控制器
VCE 4
Aculiner
Aligner 控制器
手臂組
AXM
DBM
MagnaTran / Mag 60 系列
MagnaTran / Mag 7
MagnaTran / Mag 70 系列
MagnaTran / Mag 74
MagnaTran / Mag 8
MTR / VTR 5
Reliance
spacer10

台灣,新竹

AXM
MagnaTran / Mag 7
Reliance