DBM 2400/2700 大氣晶圓傳載機械手臂維修

Equipe PRI DBM 機器人維修

DBM 系列機器人是第一個專為同時處理兩片晶圓而設計的產品系列,這部機器人配備兩個獨立的 R (競相) 軸。 兩個整合的 end-effectors 可讓預先校準的晶圓與經處理的晶圓交換,速度較雙槳機器人快 25% 。此外,雙交叉手臂設計可最小化佔用空間。高電源整合的放大器耦合兩個 end-effectors 可增加傳輸量並大幅降低晶圓抓/放時間。

選擇 Brooks 維修的效益

DBM 2400/2700 固定價格機器人維修選項

維修等級 描述 保固
功能性維修 提供滿足生產測試規格所需的最低維修 整個裝置 90 天維修完成
增強型維修,含預防性保養 功能性維修服務加上預防性維護,視需要處理高磨損零件,以預防非預期的故障 整個裝置 12 個月維修完成
翻新 完整重建裝置,滿足全新的裝置運作規格,如 Brooks Engineering 所定義。 裝置的外關零件將會視需要更換。 整個裝置 12 個月維修完成

Brooks 原廠認證的維修是追求專業高品質服務的客戶之最佳選擇。 這些維修專為最佳化舊有產品效能並針對您所有自動化設備達到最佳壽命而設計。

DBM 2400/2700 機器人維修功能

  • 詳細的維修評估報告
  • 遵循完全複製
  • 外觀維修選項
  • 深度故障分析選項

主動式合約

針對大型已安裝的客戶,提供搭配增強型預防性維護或翻新服務等級結合的服務合約,含括交換裝置。上述的服務合約提供立即可用的備品, 來支持您機台維持運作的需求本計畫可協助客戶主動管理設備維護以降低未預期的停機時間,同時固定價格可讓您的運作至定預算並預測期維護費用。