AxM™ 100/200/400 大氣晶圓傳載機械手臂維修

Equipe PRI AxM 機器人維修

AxM™ 是Brooks Atmospheric Mount 系列的 Class 1 無塵室相容晶圓處理機器人 。這些機器人使用 Brooks 經生產實證的機械設計,提供底部 (ABM) 或頂部 (ATM) 安裝,可處理最多 4 磅的裝載,以及最多 13 吋的行程。ABM 與 ATM 400 機器非常適合處理晶圓,最長為半徑 300mm。大氣晶圓傳載機械手臂的 ATM-100 系列是精密度、速度與可靠性的最佳結合。

選擇 Brooks 維修的效益

AxM 100/200/400  固定價格機器人維修選項

維修等級 描述 保固
功能性維修 提供滿足生產測試規格所需的最低維修 整個裝置 90 天維修完成
增強型維修,含預防性保養 功能性維修服務加上預防性維護,視需要處理高磨損零件,以預防非預期的故障 整個裝置 12 個月維修完成
翻新 完整重建裝置,滿足全新的裝置運作規格,如 Brooks Engineering 所定義。 裝置的外關零件將會視需要更換。 整個裝置 12 個月維修完成

Brooks 原廠認證的維修是追求專業高品質服務的客戶之最佳選擇。 這些維修專為最佳化舊有產品效能並針對您所有自動化設備達到最佳壽命而設計。

AxM 100/200/400 機器人維修特色

  • 詳細的維修評估報告
  • 遵循完全複製
  • 外觀維修選項
  • 深度故障分析選項

主動式合約

針對大型已安裝的客戶,提供搭配增強型預防性維護或翻新服務等級結合的服務合約,含括交換裝置。上述的服務合約提供立即可用的備品, 來支持您機台維持運作的需求本計畫可協助客戶主動管理設備維護以降低未預期的停機時間,同時固定價格可讓您的運作至定預算並預測期維護費用。