Razor™ 大氣晶圓傳載機械手臂維修

Reliance 機械手臂維修

Razor™ 大氣傳載機械手臂提供高效能、低風險硬體基礎,運用 Equipe 和 MagnaTran® 所建立的多世代的自動化標準,滿足現今世界級半導體製造商日益嚴格的自動化需求。

Razor Traverser 為符合進階半導體製造的無塵室標準進行最佳化,利用 Brooks 專利授權的直接驅動技術,針對最低可能的震動與粒子汙染提供優異的可用性與流暢的移動控制器。Brooks Automation 的動作控制專門技術可讓 Razor 機器人利用邊緣接觸運輸晶圓,而非抓取,具備最大化無塵與晶圓保護功能,同時維護最高等級的流量與重複性。

Razor 模組專為高生產力與設定彈性而設計,提供高品質的即用性,並支援快速的產品安裝及較短的交期。所有 Razor 產品,利用 Fusion™ 控制器的自動控制解決方案,可讓您輕鬆進行設定,滿足各種機台應用需求。除此之外,模組化 Razor 的設計支援無縫式變更機台設定的功能,因應生產應用上發展的需求或機台運送設計的變更。

Razor 大氣晶圓傳載機械手臂結合領先的軟硬體。其開放式的基礎架構與模組化平台可讓機台符合新興的自動化需求,同時減少重新驗證的需求。 Razor 支援快速、直覺性的設定與安裝,免除針對各工具版本設計全新自動化解決方案的需求,因此可大幅降低導入時間。 Razor 產品透過最小的操作成本與設定及降低操作步驟,為最大的運作效率而設計。 Razor 的模組化設計使客戶可以客製化可現場更換的裝置 (FRU) ,以減少平均維修時間 (MTTR) 的策略運用,並將未排程的停機時間維持在最短。

選擇 Brooks 維修的效益

Razor 固定價格機器人維修選項

維修等級 描述 保固
功能性維修 提供滿足生產測試規格所需的最低維修 整個裝置 90 天維修完成
增強型維修,含預防性保養 功能性維修服務加上預防性維護,視需要處理高磨損零件,以預防非預期的故障 整個裝置 12 個月維修完成
翻新 完整重建裝置,滿足全新的裝置運作規格,如 Brooks Engineering 所定義。 裝置的外關零件將會視需要更換。 整個裝置 12 個月維修完成

Brooks 原廠認證的維修是追求專業高品質服務的客戶之最佳選擇。 這些維修專為最佳化舊有產品效能並針對您所有自動化設備達到最佳壽命而設計。

Razor 機器人維修特色

  • 詳細的維修評估報告
  • 遵循完全複製
  • 外觀維修選項
  • 深度故障分析選項

主動式合約

針對大型已安裝的客戶,提供搭配增強型預防性維護或翻新服務等級結合的服務合約,含括交換裝置。上述的服務合約提供立即可用的備品, 來支持您機台維持運作的需求本計畫可協助客戶主動管理設備維護以降低未預期的停機時間,同時固定價格可讓您的運作至定預算並預測期維護費用。