MultiTran® 5/VacuTran™ 5 大氣晶圓傳載機械手臂維修

MultiTran VacuTran 機械手臂維修

MTR 5 M 機型 MultiTran® 5 機械手臂,搭載 Brooks 經專利認證的 BiSymmetrik™ 手臂與雙 SEMI/MESC 相容之end effector為真空晶圓傳載機械手臂,能夠在獨立的叢集(cluster)型設備中達到高速傳載。

VTR 5 M 機型 VacuTran™ 5 機械手臂是高可靠度的晶圓傳載機械手臂,搭載 SEMI/MESC 相容手臂與end effector。VTR 5 M 為頂端固定之機械手臂,採單臂組態,適用於大型傳輸艙模組,例如用於叢集型(cluster)設備的模組。

選擇 Brooks 維修的效益

MultiTran 5/VacuTran 5 固定價格機器人維修選項

維修等級 描述 保固
功能性維修 提供滿足生產測試規格所需的最低維修 整個裝置 90 天維修完成
增強型維修,含預防性保養 功能性維修服務加上預防性維護,視需要處理高磨損零件,以預防非預期的故障 整個裝置 12 個月維修完成
翻新 完整重建裝置,滿足全新的裝置運作規格,如 Brooks Engineering 所定義。 裝置的外關零件將會視需要更換。 整個裝置 12 個月維修完成

Brooks 原廠認證的維修是追求專業高品質服務的客戶之最佳選擇。 這些維修專為最佳化舊有產品效能並針對您所有自動化設備達到最佳壽命而設計。

MultiTran 5/VacuTran 5 機器人維修特色

  • 詳細的維修評估報告
  • 遵循完全複製
  • 外觀維修選項
  • 深度故障分析選項

主動式合約

針對大型已安裝的客戶,提供搭配增強型預防性維護或翻新服務等級結合的服務合約,含括交換裝置。上述的服務合約提供立即可用的備品, 來支持您機台維持運作的需求本計畫可協助客戶主動管理設備維護以降低未預期的停機時間,同時固定價格可讓您的運作至定預算並預測期維護費用。