銅離析

Brooks Repair Services 針對特定產品提供銅離析服務。

銅汙染並不會對處理設備的人員造成健康或安全性問題時,但卻會對於需預防銅汙染的非銅製程與使用的相關設備構成挑戰。

由於銅製程的使用在半導體業持續成長, Brooks Automation 仍然致力於隔離用於銅製程中退回的送修設備。

截至目前為止,對已暴露過銅製程的所有送修設備於送到Brooks Automation 維修工廠時,將會是可辨識且可追蹤的。