CTI-Cryogenics On-Board® IS 低溫泵

維修-翻新服務

IS 320 FX

Brooks CTI-Cryogenics 智慧型 On-Board IS 超低溫幫浦系統運用創新的高效能低溫技術,可提供無可匹敵的真空效能與能源效率。 經國際專利認證的分散式控制系統可監控並持續調整個別超低溫幫浦系統元件,維護最適當的系統真空效能,優異的達到製程一致性。

選擇 Brooks 維修的效益

  • 一站式全球化選購服務,提供種類最多的 CTI-Cryogenics 低温真空泵與壓縮機
  • 原始設備製造商:產品技術專家與設計工程師
  • 我們在任何設有大型半導體晶圓廠的地區均提供維修
  • 針對所有維修等級提供一年期完整保固
  • 維修等級:
  • 所有地區均提供交換品服務
  • 維修整合了升級與CIP
  • 經ISO認證的維修與使用 Brooks 原廠零件
  • 一致的全球維修流程,維持一致的品質與效能
  • 所有產品各式維修等級均有固定的交期
  • 客製化維修合約(適用於所有機器人)

On-Board 低溫泵維修-翻新選項

服務等級 機型 交期
翻新 涵蓋所有現用機型:On-Board IS 8、 8F、8F XP、250FE、320FE、320FX 3-4 週
進階交換 涵蓋所有現用機型:On-Board IS 8、 8F、8F XP、250FE、320FE、320FX 5-7 個工作天
單日快速回應交換 涵蓋最常用機型。* 次工作天

* 請聯絡我們以瞭解可用性。

Brooks 認證的維修服務是客戶追求專業高品質的最佳選擇。 這些維修專為最佳化舊有產品效能並針對您所有低溫需求達到最佳生命週期而設計。

On-Board 低溫泵維修特色

  • 可用的效能升級選項
  • 進階評估診斷工具
  • 自動化測試套組
  • 遵循完全複製
  • 深度故障分析選項

主動式合約

針對大型已安裝的客戶,提供搭配增強型預防性維護或翻新服務等級結合的服務合約,含括交換裝置。上述的服務合約提供立即可用的備品, 來支持您機台維持運作的需求本計畫可協助客戶主動管理設備維護以降低未預期的停機時間,同時固定價格可讓您的運作至定預算並預測期維護費用。