VCE 加載鎖

Brooks 在真空搬運機器人與半導體晶圓處理模組、平板顯示器製造及其他複雜製造環境上,為全球領導的廠商。我們經年累積的開創性智慧財產權為我們贏得技術與市場領導地位,在同級產品中脫穎而出,並提供大規模的流量;可靠性及可服務性優勢。 Brooks 經實證的晶圓傳輸機器人與模組提供高效能與低總持有成本,促進製造效率,加速創新,並為現今製造商帶來利潤。

Brooks VCE 6 真空晶圓盒升降機加載鎖可讓安全、乾淨的 AGV、RGV 或人力操作員運輸最多 200mm、SEMI 標準的晶圓盒。提供三種樣式:

  • 晶圓盒緩衝承載機,含晶圓盒傳載機械手臂
  • 符合人體工學的傾斜平台與晶圓盒指南
  • 晶圓盒傳載機械手臂平台

VCE 6 真空晶圓盒升降機加載所提供具成本效益、尖端技術的原廠介面功能,符合您特定的晶圓製造環境。專為超無塵與可靠的運作而設計,採用 10-6 規格的高真空完整環境隔絕,剛好高於大氣壓力。

重要特色

  • 自動化、精準的黨門
  • 隔離的驅動機制
  • 專為沖洗無塵室牆面介面設計的艙室
  • 整體、至慧型感應功能,包括晶圓盒、晶圓突出晶圓盒及平台上的晶圓中的晶圓位置
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