Marathon™ Express 真空運輸系統

Brooks 透過在區別同等級的最佳解決方案基質傳輸與控制的環境中積聚無可匹敵的工程功能與創新,在真空傳輸系統贏得領導地位。 本公司先進的真空晶圓傳輸技術非常適合半導體晶圓處理與其他複雜的製造環境中的工具自動化應用。我們提供了一系列的系統,其設置可用於輸送 100 mm 至 450mm 的晶圓,以滿足特定的生產環境和加工需求。

Marathon™ Express 為模組化、可設定的真空運輸系統 (VTS) ,並針對優異真空效益與 100mm、125mm、150mm 及 200mm 晶圓尺寸應用的高流量最佳化。Marathon Express 具備模組化架構並提供 4、6、7 及 8 邊版本,可為您量身打造符合各種流程應用的不同需求。

此高效能真空傳輸系統非常適合 PVD、CVD、Etch、 MR Head Deposition、MEMS 及複合半導體應用。

重要特色

  • 針對採用最小硬體變更的 100 至 200mm 尺寸晶圓重新設定
  • 10M+ MCBF MagnaTran Radius 機器人
  • 經實證的 VCE 6 索引編製真空加載鎖,適用於 25 或 26 個晶圓盒,搭配四個原廠介面選項
  • 3 系列至 8 系列 (torr) 基準壓力的現用真空設定
  • 第五代電力與通訊系統
  • 內建硬體與安全性連鎖
  • 遵循 CE、S2 及所以其他相關業界標準