Marathon™ 2 運輸系統

Brooks 透過在區別同等級的最佳解決方案基質傳輸與控制的環境中積聚無可匹敵的工程功能與創新,在真空傳輸系統贏得領導地位。 本公司先進的真空晶圓傳輸技術非常適合半導體晶圓處理與其他複雜的製造環境中的工具自動化應用。我們提供了一系列的系統,其設置可用於輸送 100 mm 至 450mm 的晶圓,以滿足特定的生產環境和加工需求。

使用 Brooks 提供的真空運輸系統 (VTS) 的 Marathon 2 系列取得全新的效能等級與獲利率。專為 300mm 和 450mm 晶圓設計的 Marathon 2 系統結合經實證的 MagnaTran 機器人可用性及叢集工具技術的最新創新,藉以最佳化 OEMs 可靠性與效能,同時提供使用者低持有持本。

重要特色

  • 10M+ MCBF MagnaTran Radius 機器人
  • Speed Lock™ 高流量堆疊加載鎖
  • CenterSmart™ 自動晶圓置中
  • 第五代電力與通訊系統
  • 內建硬體與安全性連鎖
  • Insight™ 清潔運輸蓋,適用於視覺晶圓監控
  • 遵循 CE、S2 及所以其他相關業界標準