Spartan™ 大氣傳輸系統 EFEMs

傳統「盒式」設備前端模組 (EFEM) 係透過高度勞力與時間密集針對多個現成組件,包括大氣晶圓處理機器手臂、Load Port、晶圓及自動 ID、迷你環境及控制晶圓的整合而製成,藉以形成複雜的設備前端。無可避免的,這經常會在互通性、故障偵測及供應商責任上造成問題。

Brooks 因了解這些複雜性和挑戰,提出 Spartan™ EFEM 前線解決方案,為設備製造商和晶圓製造廠提供真實的高效能大氣設備。Spartan EFEM 具有簡易、整合式的設計,提供高產能、高潔淨度、最佳化無塵室空間及最低持有成本 (COO)。

Spartan EFEM 優點

  • 簡易設計搭配經實證的技術,提供更高的產能及更高的可靠性
  • 優於 ISO Class 1 微粒子控制效能
  • 適用於簡易設定與安裝、加速工具合格性的整合式設計
  • 前端安裝存取,適用於快速簡易的可用性

Spartan EFEM 是高流量 300 mm 前端自動化解決方案的業界領導者。Spartan EFEM 一開始的模組化設計提供修改程各種獨特 OEM 應用的彈性。

Spartan EFEM 的核心位於其中心資料結構,此結構會參考所有晶圓傳送組件及移動。此單一參考標準可讓您輕鬆校準與設定,且可針對最多四個Load Port設定擴充。Spartan EFEM 完全符合 SEMI 標準,可廣泛運用,簡化維修過程和 COO。

最大化生產力與獲利率

  • 具備最佳化最小環境,適用於同級最佳無塵狀態,提供優於 ISO Class 1 的效能。
  • 超薄邊緣抓取雙晶圓傳送能針對最嚴格的應用達成快速交換速度效能。
  • 彈性、可選配的設計與進階軟體支援讓您享有簡單方便的整合、服務性與維護。

Spartan EFEM 比任何功能相當的系統外觀更小型、更輕巧、更不複雜、更可靠、更容易整合至 300mm 自動化晶圓廠,且更具節能效益 。EFEM 擁有業界領先的微粒子控制效能,結合高可用性、服務性及維護性所賦予的低 COO,是 Crossing Automation 深信現今市場上功能最強大的 EFEM。