Spartan™ 450mm 開發平台 (Spartan 450-DP)

全新 Spartan™ 450mm 開發平台將獨特、小型佔用空間的低成本系統引進市場,可讓原始設備製造商 (OEMs) 可靠地將晶圓從製程艙體放入和取出。此單一 FOUP EFEM 可減少花費工程時間於平台開發,藉以加速 OEMs 450mm 開發。此高度可擴充平台可供 OEMs 輕鬆移轉至大量生產,無需變更軟硬體介面。

重要特色

  • 結合經生產實證的 300mm 組件與 450mm Certon™ Load Port
  • 尺寸升級的整合Load Port 之Wafer Engine Spartan™ EFEM
  • 選用之晶圓尋邊器
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小型佔用空間

  • 寬度:1.4m
    高度:1.4m