晶圓搬運系統

Brooks Automation 提供全方位可組合之大氣與真空之晶圓處理平台及系統。此外,Brooks 還能提供靈活的創造能力、提高成本效益和達成每位客戶特定應用的獨特解決方案。我們有經驗豐富的專家所組成的專門團隊,使用經實證有效率的合作方法:傾聽客戶需求和勇於挑戰、時常檢視我們的知識和能力,若有需要,也會協助客戶開發自訂規格的功能,以提供 OEM 製程自動化之最適用的晶圓處理解決方案。