MagnaTran® 8 Radius 真空機器人

真空用晶圓快速交換機器人,適用於高裝載與小型封閉應用

雙臂 MagnaTran® 8 Radius™ 機器人將 MagnaTran 經實證的優點、直接驅動技術延伸至經專利驗證的三軸驅動器。 此外,MagnaTran 利用經實證的 SCARA 手臂技術,在小型封閉直徑範圍內完成 4 秒的快速交換。 三軸驅動器​​和手臂已設計成可容納較重的裝載。

直接磁驅動技術可藉由降低零件數目與消除真空隔離的動態密封需求來提高可靠性。 消除動態密封可降低摩擦、磨損、撕裂及扭曲,減少故障。 消除步進馬達及/或傳輸耦合機制可減少震動、粒子,並提高定位重複性。

快速交換手臂、Time Optimal Trajectory™ 連續循環與直接驅動伺服,以及 Brooks 專屬 DSP 控制器提供較高的傳輸效率。

重要特色

  • 高容量直接驅動技術,不含動態密封、驅動皮帶或纜線
  • 經實證 > 1280 萬 MCBF 可靠性
  • 控制器位於遠端獨立空間,距離驅動器 15 尺
  • 經專利認證的 Time Optimal Trajectory®
  • 使用者可編程機器人存取區域
  • CE 和 SEMI S2 相容
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優點

  • 高接觸-封閉率
  • 快速交換
  • 高裝載容量
  • 低持有成本
  • VHV 相容性
  • 晶圓與設備安全性
  • 全球服務機構
  • 符合國際設計與業界安全性標準

使用者可編程安全性存取區域可在手動作業期間防止可能的衝突,因而確保高價值晶圓與流程設備的安全性。您可以透過遠端、數據機連結或服務終端機上的圖形介面達成全方位的診斷。包含之前事件的錯誤記錄已取得時間與日期戳記。

循環計數存放於非易揮發的記憶體,且重要效能特性會以圖形方式監控。 多感應器介面功能由高速 PIO 提供,其協助直接介面至基底感應器與其他周邊模組的連接,例如閥門。即時資訊可藉由移動組件的邊緣感應,提供位置參考功能。 您可以在巨集序列中參考晶圓狀態,以符合安全性。