MagnaTran® 8 QuadraFly 真空機器人

在高流量的真空、小型封閉應用中,啟用同時交換 4 片晶圓

MagnaTran® 8 QuadraFly 真空機器人運用經實證的 SCARA 手臂技術與可靠的直接驅動機器人,以小型封閉擺動直徑在真空中提供四片晶圓的同時交換功能。此外,QuadraFly 機器人將 MagnaTran® 8 經實證的優點、專利的三軸驅動器​​直接驅動技術。三軸驅動器與 QuadraFly Butterfly 手臂設定已設計成容納較重的裝載。

直接磁驅動技術可藉由降低零件數目與消除真空隔離的動態密封需求來提高可靠性。 消除動態密封可降低摩擦、磨損、撕裂及扭曲,減少故障。 消除步進馬達及/或傳輸耦合機制可減少震動、粒子,並提高定位重複性。

重要特色

  • 真空狀態中4 片晶圓同時運輸
  • 高容量、直接的驅動技術,不含動態密封、驅動皮帶或纜線
  • 經實證的可靠性 > 12.8 百萬 MCBF
  • 經專利認證的 Optimal Trajectory 移動控制器
  • 外部控制器,位於距離驅動 15’ 的距離
  • 使用者可編程機器人存取區域
  • CE 和 SEMI S2 相容
  • 可應用於 450mm wafer
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優點

  • 提供每小時較高晶圓流量與工具生產力
  • 高裝載容量
  • 低持有成本
  • UHV 可用性
  • 晶圓與設備安全性
  • 全球服務性
  • 符合國際設計與業界安全性標準

QuadraFly 機器人快速交換手臂組、Time Optimal Trajectory™ 連續循環與直接驅動伺服,以及 Brooks 專屬 DSP 控制器提供較高的流量,同時提高生產力。

使用者可編程安全性存取區域可在手動作業期間防止可能的衝突,因而確保高價值晶圓與流程設備的安全性。您可以透過遠端、數據機連結或服務終端機上的圖形介面達成全方位的診斷。包含之前事件的錯誤記錄已取得時間與日期戳記。循環計數存放於非易揮發的記憶體,且重要效能特性會以圖形方式監控。 多感應器介面功能由高速數位 I/O 提供,其協助直接介面至基底感應器與其他周邊模組的連接,例如基底感應器與閥門,以及其他周邊模組,例如閥門。即時資訊可藉由移動組件的邊緣感應,提供位置參考功能。 您可以在巨集序列中參考晶圓狀態,以符合安全性。