MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) 真空機器人

晶圓搬運機器人,適用於需要高接觸/封閉率的真空應用

MagnaTran® 7 SCARA (MAG 7) 機器人結合所有 MagnaTran 產品系列的技術優點,產生經實證 > 1100 萬故障的平均循環(MCBF)。

簡易的設計具備最小數量的移動零件 。直接的磁力驅動不含動態真空密封,因而可降低摩擦、磨損,造成更多故障。 低 震動、低量粒子及無邊緣接觸的高定位準確度可藉由去除步階馬達來達成。整合式、經實證的控制電子裝置不僅提供較小的佔用體積,亦提供較低的電子介面磁化率,產生較高的可用性。

重要特色

  • 處理 300mm 與非標準基質的晶圓尺寸
  • 精簡、直接的驅動技術,毋需動態密封、驅動皮帶或纜線
  • 經實證 > 1100 萬 MCBF 可靠性
  • 完整裝載、DSP 型控制電子裝置
  • 經專利認證的 Time optimal Trajectory
  • 機械手臂工作程序依使用者可程式存取
  • 進階韌體,適用於本地與遠端監控和診斷
  • 單一或雙端受動器設定
  • CE 和 SEMI S2 相容
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優點

  • 相容於尖端技術的叢集工具。
  • 高接觸/封閉率
  • 低持有成本
  • VHV 相容性
  • 晶圓與設備安全性
  • 全球性服務
  • 促進生產力升級

利用 Time Optimal Trajectory™ 演算法 (使得運輸較 s 曲線設定檔速度快 15-30% ) 取得超高流量。連續旋轉功能會預先排除超過 180 度移動的需求及直接驅動伺服,搭配可最小化震動的 Brooks 專屬 DSP 控制器。

工作區使用者可編程存取區域可在手動作業期間防止可能的衝突,因而確保高價值晶圓與流程設備的安全性。您可以透過遠端、數據機連結或服務終端機達成全方位的診斷圖形介面。包含之前事件的錯誤記錄已取得時間與日期戳記。循環計數存放於非易揮發的記憶體,且重要效能特性會以圖形方式監控。 多感應器介面功能由高速數位 PIO 提供,其協助直接介面至基底感應器與其他周邊模組的連接,例如閥門。即時資訊可藉由移動組件的邊緣感應,提供位置參考功能。 您可以在巨集序列中參考晶圓狀態,以符合安全性。