MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 真空機械手臂

雙臂、同側晶圓搬運機械手臂,適用於真空叢集工具中的高傳送流量應用

MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 機械手臂保有 MagnaTran 產品系列的所有特色與優點,同時在嚴苛的叢集機台中,具有最高可用的流量。

利用 Time Optimal Trajectory™ 演算法取得超高傳送流量。可連續旋轉功能可排除超過 180 度的移動需求。直接驅動伺服與所有權 DSP 控制器可最小化震動。經專利認證的 Leapfrog® 手臂使晶圓交換與緩衝功能得以實現。

重要特色

  • 最高流量 MagnaTran 7 機器人
  • 處理 300mm 的晶圓尺寸
  • 精簡、直接的驅動技術,毋需動態密封、驅動皮帶或纜線
  • 經實證 > 1100 萬 MCBF 可靠性
  • 完整裝載、DSP 型控制電子裝置
  • 優越的韌體,適用於本地與遠端監控和診斷
  • CE 和 SEMI S2 相容
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優點

  • 相容於尖端技術的叢集工具。
  • 超高流量
  • VHV 相容性。
  • 低持有成本。
  • 最大運作速度。
  • 全球服務性。
  • 更安全地從電力耗損復原。

同等級最佳 MagnaTran 技術配備直接磁力驅動。低摩擦、低磨損與撕裂,以及較少的扭轉導致較少的失敗。震動與粒子也被保持在最小程度。本設計可促進不含邊緣接觸的高定位準確性。無密封或完全密封會產生更佳的效能、搬運艙不會有任何水分,且 PVD 模的更佳配置。 整合式控制電子裝置提供較小的佔用體積、較低的電子介面磁化率、較小型的封裝及較高的可用性。

您可以透過遠端、數據機連結或服務終端機上的圖形介面監控全方位的診斷。檢視追蹤公用程式可讓您監控終端受動器的可編成與實際加速功能。包含之前事件的錯誤記錄已取得時間與日期戳記。循環計數的運作存放於非易揮發的記憶體。 總而言之,關鍵效能特性的圖形監控功能具可行姓。

多感應器介面功能由高速數位 I/O 提供,其協助直接介面至基底感應器與其他周邊模組的連接,例如閥門。即時資訊可藉由移動組件的邊緣感應,提供位置參考功能。 使用者指定之放射狀位置中的動態感應可在 Leapfrog 手臂上啟用獨立晶圓感應功能。 PASIV™ 安全性功能 (可編程存取安全性含括數量) 提供使用者可編程存取區域,可在手動作業期間防止可能的衝突,因而確保高價值晶圓與流程設備的安全性。