晶圓搬運機械手臂，適用於真空叢集機台應用
MagnaTran® 7 Frogleg™ (MAG 7 F) 機器人結合所有 MagnaTran 產品系列的技術優點，亦已經實證 > 1100 萬故障的平均循環率 (MCBF)。
簡易的設計具備最小數量的移動零件 。直接的磁力驅動不含動態真空密封，因而可降低摩擦、磨損，減少造成更多故障。 低震動、低量粒子及無邊緣接觸的高定位準確度可藉由去除步進馬達來達成。整合式、經實證的控制電子裝置不僅提供較小的佔用體積，亦提供較低的電子介面磁化率，產生較高的可用性。
重要特色
- 處理 300mm 與非標準基質的晶圓尺寸
- 經專利認證的 Frogleg™ 手臂
- 經實證 > 1100 萬 MCBF 可靠性
- 經專利認證的 Time optimal Trajectory
- 機械手臂工作程序依使用者可程式存取
- 以外部感應裝置達到晶圓自動置中的功能
- CE 和 SEMI S2 相容
優點
- 相容於尖端技術的叢集機台
- 高傳送流量
- 精簡的使用空間
- VHV 相容性
- 低持有成本
- 最大運作速度
- 全球性服務
- 晶圓與設備安全性
- 促進生產力升級
利用 Time Optimal Trajectory™ 演算法 (使得傳送較 s 曲線設定檔速度快 15-30% ) 取得超高傳送流量。可連續旋轉功能可排除超過 180 度的移動需求, 直接驅動伺服與Brooks所有權 DSP 控制器可最小化震動。
機械手臂工作程序依使用者可程式存取，可在手動作業期間防止可能的衝突，因而確保高價值晶圓與至程設備的安全性。您可以透過遠端、數據機連結或服務終端機完成全方位的診斷圖形介面。包含先前事件的錯誤記錄已取得時間與日期戳記。循環計數器為非易揮發的記憶體，且重要效能特性會以圖形方式監控。 多感應器介面功能賴於高速數位 I/O 提供，其協助直接介面至晶圓感應器與其他周邊模組的連接，例如閥門。即時資訊可藉由移動組件的邊緣感應，提供位置參考功能。 您可以在巨集序列中參考晶圓狀態，以符合安全性。
