MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) 真空機械手臂

搬運機械手臂適用於真空機台中的高傳送流量應用。

MagnaTran® 7 BiSymmetrik™ (MAG 7 B) 機械手臂包含 MagnaTran 產品系列的所有技術優點,亦已經實證 > 1100 萬故障的平均循環率 (MCBF)。

簡易的設計,具備最小數量的移動零件 。直接的磁力驅動不含動態真空密封,因而可降低摩擦、磨損、撕裂及扭曲,減少故障。 可藉由去除步進馬達來達成低震動、低量粒子及無邊緣接觸的高定位準確度。整合式、經實證的電子控制裝置不僅提供較小的佔用體積,亦提供較低的電子介面磁化率,產生較高的可靠性。

重要特色

  • 處理 300mm 的晶圓尺寸
  • 經專利驗證的 BiSymmetrik 手臂,具備可抓取兩片晶圓的裝置
  • 精簡、直接的驅動技術,毋需動態密封、驅動皮帶或纜線
  • 完整裝載、DSP 型控制電子裝置
  • 經專利認證的 Time optimal Trajectory
  • 優越的韌體,適用於本地與遠端監控和診斷
  • CE 和 SEMI S2 相容
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優點

  • 相容於尖端技術的叢集機台
  • 超高傳送流量
  • 精簡的使用空間
  • VHV 相容性
  • 低持有成本
  • 最大運作速度
  • 全球性服務
  • 更安全地回復從電力耗損時

利用 Time Optimal Trajectory™ 演算法 (使得運輸較 s 曲線設定檔速度快 15-30% ) 取得超高流量。可連續旋轉功能會預先排除超過 180 度移動的需求及直接驅動伺服,搭配可最小化震動的 Brooks 專屬 DSP 控制器。MAG 7 B 機器人經專利認證的 BiSymmetrik 手臂使晶圓交換與緩衝功能得以實現。

PASIV™ 使用者可編程安全區域可在手動作業期間防止可能的衝突,因而確保高價值晶圓與流程設備的安全性。您可以透過遠端、數據機連結或服務終端機上的圖形介面達成全方位的診斷。包含之前事件的錯誤記錄已取得時間與日期戳記。循環計數儲存於非易揮發的記憶體,且重要效能特性會以圖形方式監控。 多感應器介面功能由高速數位 I/O 提供,其協助直接介面至基底感應器與其他周邊模組的連接,例如閥門。