真空機器人 MagnaTran® 產品系列

Brooks Automation 提供業界最先進且可靠的機器人,適用於真空隔離環境中的運作。Brooks MagnaTran 系列機器人定下了真空機械人自動化的業界標準,提供無與倫比的潔淨度、可重複性和生產能力。這些尖端技術的真空機器人,特別針對半導體晶圓製程之機台以及其他複雜製造環境的自動化需求所設計,讓 OEM 得以建立經實證可靠且高效能的自動化平台。