Fusion™控制器

Brooks 大氣晶圓傳載機械手臂與模組,系整合於半導體材料處理應用流程設備與Cluster 機台前端裝置中的高效能大氣晶圓處理解決方案。Brooks 是技術與效能的領導者,提供領先業界的機械手臂解決方案,同時針對出貨後的機台加速安裝與設定, 開啟新一層級的機台精確性。 Brooks 的大氣機械手臂與模組運用多世代的業界領先自動化標準,提供現今進階製造流程所需的最佳化傳送量、重複性及無塵狀態組合。

Brooks 創新的 Fusion™ 控制器平台是業界最具彈性且完整的自動化控制解決方案。Fusion 控制器可完整自訂且非常容易使用,提供最大效能與正常運行時間,同時加快市場獲利能力。

重要特色與效益優點

  • 經專利認證的移動控制技術,提供無可匹敵的精準度與效能
  • 可擴充,同步高速運動控制網絡和協調各軸的運動
  • 高度可配置的軟體,用於特定晶圓廠和工具定制與擴展
  • 直覺性圖形介面,提供更快速、更簡易的設定、整合、運作及維護
  • 具體化與模擬功能,提供高效率疑難排解,即使是遠端也沒問題

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