Yaskawa (YEC) MR124 大氣晶圓傳輸機械手臂

Yaskawa (YEC) MR124 大氣機械手臂為一套最佳體積解決方案,適用於小型設備前端模組 (EFEMs),特別是在需要邊緣抓取處理時。YEC SemiStar 產品是半導體業 EFEM 解決方案的標竿,同時也是 Brooks 自動大氣晶圓傳載機械手臂組合的重要部分。

產能更高而且可動範圍更廣

YEC 在移動控制與機械手臂上具有豐富的記錄,並利用其在應用於所有機械手臂中的馬達、編碼器與移動控制器的獨家 Yaskawa Sigma™ 系列技術。藉由數十年來的機器人開發經驗與成千上萬的運作中機械手臂,YEC 持續加強並改善本身世界知名的驅動技術。這套完善開發的技術可確保高可用性並大幅降低持有成本。

特色和優點

  • 300mm、200mm 及相容的光罩 - 容易針對不同的晶圓尺寸修改
  • 5 軸移動 (R、B1、B2、Theta、Z) - 快速晶圓交換
  • 基於 Yaskawa Sigma 技術的馬達 - 高可靠性、已實證的馬達技術
  • 絕對編碼器,搭配內部電池備份 - 快速、可靠且安全的定位功能,毋須啟動本位定位
  • 種類繁多的選項 (包括 2 軌長度) - 非常適合 3 或 4 個 loadport 的 EEM 應用
  • 全球支援 - 全球全年無休皆提供產品支援

MR124 為單一手臂、雙變換機械手臂,非常適合需要快速晶圓交換功能的兩個 loadport 的應用。 對兩個 300mm 的 loadport 的曲線存取可免除對線性軌道的需要。MR124 也可針對曲線存取到達與 EFEM 垂直方向的應用裝載軌道。提供三個及四個 loadport 寬的軌道。

所有軸上的絕對型編碼器提供極佳的安全、精密度以及重複性。 必備的電池備份可在啟動時提供快速、可靠且安全的定位功能。

各種選項可讓使用者針對各應用設定自動化系統。M122 機械手臂具有適用於真空與邊緣抓取應用的標準的解決方案,及光束晶片掃描器選用裝置,且能夠支援自動或客戶自有的解決方案。提供適用於邊緣抓取與真空抓取的的晶圓定位儀,可完成自動化系統。部分定位儀設計可處理兩種晶圓尺寸。