Yaskawa (YEC) M201 大氣晶圓傳輸機械手臂

Yaskawa (YEC) M201 為高效率、快速交換解決方案大氣晶圓傳載機械手臂,特別是與線性車軌選項結合時更能發揮效益。YEC SemiStar 機械手臂產品是半導體業 EFEM 解決方案的標竿,同時也是 Brooks 自動大氣晶圓傳載機械手臂組合的重要部分。

配置雙臂可提供更高產能以及功能方面的靈活度

YEC 在移動控制與機械手臂上具有豐富的記錄,並利用其在應用於所有機械手臂中的馬達、編碼器與移動控制器的獨家 Yaskawa Sigma™ 系列技術。藉由數十年來的機器人開發經驗與成千上萬的運作中機械手臂,YEC 持續加強並改善本身世界知名的驅動技術。這套完善開發的技術可確保高可用性並大幅降低持有成本。

特色和優點

  • 300mm、200mm 及相容的光罩 - 容易針對不同的晶圓尺寸修改
  • 雙臂 4 軸移動 (R1、R2、Theta、Z) - 快速晶圓交換
  • 基於 Yaskawa Sigma 技術的馬達 - 高可靠性、已實證的馬達技術
  • 絕對編碼器,搭配內部電池備份 - 快速、可靠且安全的定位功能,毋須啟動本位定位
  • 種類繁多的選項 (包括 2 軌長度) - 非常適合 3 或 4 個 loadport 的 EEM 應用
  • 全球支援 - 全球全年無休皆提供產品支援

M201 是一款高效能雙臂機器人,專為快速交換 300mm 與更小型晶圓而設計。與線性軌道配對時,M201 非常適合高流量加載 3 與 4 個LoadPort 的 EFEM 應用。 1010mm 軌道可到達 3個 300mm Loadport,同時專為四個 300mm Loadport 設計的 1515mm 軌道亦包括驅動程式,可提升馬達速度,維持高晶圓傳輸率。 M201 不含軌道,使用放射狀移動到達單一Loadport,以及使用VIA動作到達兩個Loadport。

所有軸上的絕對型編碼器提供極佳的安全、精密度以及重複性。 必備的電池備份可在啟動時提供快速、可靠且安全的定位功能。

各種選項可讓使用者針對各應用設定自動化系統。M122 機器人具有適用於真空與邊緣抓取應用的標準的解決方案,可選擇安裝晶圓掃描器,可以支援自定義方式或客戶提供的解決方案。。提供各種晶圓定位裝置,可完成自動化系統。

M201+ 是 M201 的一種變化。 其提供較長的 Z 行程及較高的裝載。裝載容量是 M201 的兩倍,使 M201+ 最適合安裝可批傳送的End-effector。