Reliance 大氣機械手臂

因應現今進階的半導體製造運作所需,Reliance ATR 機械手臂系列提供經證實的效能、可用性及超潔淨度。Reliance ATR 機械手臂運用直接驅動技術和數位訊號處理式控制電子裝置。

Brooks 大氣晶圓傳載機械手臂與模組,是整合在半導體材料處理應用流程設備與Cluster機台前端裝置中的高效能大氣晶圓處理的解決方案。Brooks 是技術與效能的領導者,提供領先業界的機器人解決方案,針對機台出貨後的快速安裝與設定,開啟了新一層級的機台經確性。 Brooks 的大氣機器人與模組運用多世代領先業界的自動化標準,提供現今進階製造流程所需最佳化的最大傳輸量、重複性及潔淨度。

重要特色

  • 高達 12.8M MCBF 的高可靠性效能
  • 直接驅動技術
  • 比傳統「S」曲線演算法,已獲得專利的 Time Optimal Trajectory™ 和 Time Optimal Path™ 路徑規化,提供高達 20% 的增加速度。
  • 3 軸或 4 軸選項
  • 支援多種不同的晶圓/基板傳送技術,包括高產能、高潔淨度,以及翹曲晶片的傳送。
  • 巡邊器選項
  • 標準或高負載的選項
  • 相容於 SEMI 及其他工業標準