剃刀™大氣傳送機器人和模塊

Brooks 大氣晶圓傳載機械手臂與模組,系整合於半導體材料處理應用流程設備與Cluster 機台前端裝置中的高效能大氣晶圓處理解決方案。Brooks 是技術與效能的領導者,提供領先業界的機器人解決方案,同時針對加速機台出貨後的安裝與設定, 開啟新一層級的機台精確性。 Brooks 的大氣機器人與模組運用多世代的業界領先自動化標準,提供現今進階製造流程所需的最佳化流量、重複性及無塵狀態組合。

資料表 剃刀系列手冊

Razor 機器人提供現今進階的半導體製造運作所需之優異效能、可用性及超潔淨。Brooks 機械動力裝載系統、經認證的動作控制技術及可靠的直接驅動的機器人可讓您快速設定、高重複性及最大機台運作時間。 此外,Razor 機器人配備簡化、且高效能的手臂架構,搭配兩個而非三個的手臂連結,可使3-FOUP 無滑軌機器人之運作有穩定的效能,即使是在高產量、全年無休的生產環境也沒問題。

使用提供以下功能的大氣傳輸機器人,保持領先地位:

  • 專屬移動控制演算法:時間最佳化軌道與時間最佳路徑,這是針對最大流量最佳化的移動設定
  • 支援晶圓傳送技術選擇,包括高傳輸率、高潔淨度狀態、被動邊緣接觸解決方案
  • 第五代直接驅動技術,可最小化零件技術、延長產品壽命以及大幅降低震動
  • 由 Fusion 控制器 (業界最具彈性、可設定的移動控制解決方案) 提供支援
  • 最佳機械動力裝載系統,搭配單一時間高度與等級調整

Brooks 大氣晶圓傳載機械手臂與模組,是整合在半導體材料處理應用流程設備與Cluster機台前端裝置中的高效能大氣晶圓處理的解決方案。Brooks 是技術與效能的領導者,提供領先業界的機器人解決方案,針對機台出貨後的快速安裝與設定,開啟了新一層級的機台經確性。 Brooks 的大氣機器人與模組運用多世代領先業界的自動化標準,提供現今進階製造流程所需最佳化的最大傳輸量、重複性及潔淨度。

利用 Razor Traverser 的高速水平移動,授予 Razor 機器人對晶圓廠內多個製程模組、加載機及晶圓盒置放位置的存取權。Razor Traverser 利用 Brooks 專利授權的直接驅動技術,針對最低可能的震動與粒子汙染提供優異的可用性與流暢的移動控制器。同時,機器人以專為與其他高效能 Razor 模組並駕齊驅設計的高速運作而設計。

就像所有 Razor 產品,Traverser 利用 Fusion™ 控制器自動化控制解決方案,可讓您輕鬆進行設定,滿足各種工具應用需求。

重要特色

  • 最高 10M MCBF 的高可靠性
  • 第五代直接驅動技術
  • 專利認證的移動控制演算法,用於降低震動
  • 預先置入的範本,適用於快速工具設定
  • 相容於 SEMI 及其他工業標準