大氣 Razor™ 晶圓定位儀

Brooks 大氣晶圓傳載機械手臂與模組,系整合於半導體材料處理應用流程設備與Cluster 機台前端裝置中的高效能大氣晶圓處理解決方案。Brooks 是技術與效能的領導者,提供領先業界的機械手臂解決方案,同時針對出貨後的機台加速安裝與設定, 開啟新一層級的機台精確性。 Brooks 的大氣機械手臂與模組運用多世代的業界領先自動化標準,提供現今進階製造流程所需的最佳化傳送量、重複性及無塵狀態組合。

高效能大氣 Razor 定位儀提供200mm、300mm 或 450mm 晶圓的高精密晶圓定位。Razor 定位儀及其他 Razor 模組專為最理想的化而設計,提供高品質的即用性,並支援快速的產品安裝及更短的導入時間。就像所有 Razor 產品,定位儀利用先進的 Fusion™ 控制器自動化控制解決方案,可讓您輕鬆進行設定,滿足各種工具應用需求。

Razor 的晶圓圓心定位儀提供優異的效率、可靠性及潔淨的環境。

重要特色

  • 最高 10M MCBF 的高可靠性
  • 緩衝架 ,可提高單一的晶圓抓取裝置的機械手臂的高傳送量
  • 被動的邊緣接觸方式 (非抓取),適用於最大無塵狀態與晶圓保護
  • 專利認證的移動控制演算法與直接驅動,用於降低震動
  • 相容於 SEMI 及其他工業標準