M800 300mm FOUP 清洗機

M800 全自動 300mm FOUP 清洗設備在最高的產出情況下, 具有最佳 Particle 和 AMC 清洗效能,並控制濕度。設備整合真空除汙室不增加佔地, 由機器手臂直接傳載。

資料表

重要特色

  • 高壓 DIW 沖洗
  • Lid 及 Shell 分離清洗
  • Lid 乾燥清洗功能
  • 真空移除 AMC 化合物汙染
  • FOUP 檢查模組
  • 每小時 20 FOUP 生產量
  • IR 乾燥技術
  • Load port 結合 N2/XCDA Purge
  • OHT 介面
  • Class 1 設備內環境
  • SECS/GEM 介面符合SEMI Standard