M600 全自動 Pod 清洗設備

M600 全自動清洗設備是 FOUP、FOSB 或 RSP200 自動清洗的完美解決方案。 在手動模式下,可清洗所有類型的光罩或晶圓載具。

重要特色

  • FOUP 或 RSP200 的全自動清洗
  • 所有光罩/晶圓載具的半自動清洗
  • 內部暫純區
  • IR 乾燥技術
  • 可切換半自動清洗模式
  • OHT 介面
  • Class 1 環境 及 ESD
  • SECS/GEM 介面符合SEMI Standard