M450 450mm FOUP/MAC 清洗設備

M450 全自動 450mm  FOUP/MAC 清洗設備有最佳 Particle 和 AMC 清洗效能,並控制清洗後濕度。

重要特色

  • 高壓 DIW 沖洗
  • Lid 及 Shell 分離清洗
  • Lid 乾燥清洗功能
  • 真空移除 AMC 化合物汙染
  • FOUP 檢查模組
  • IR 乾燥技術
  • Load port 結合 N2/XCDA Purge
  • OHT 介面
  • Class 1 設備內環境
  • SECS/GEM 介面符合SEMI Standard