M300 半自動 FOUP/Pod 清洗設備

M300 半自動設備是一款可廣泛應用的離心力清洗機,可清洗所有類型的載具 (SMIF, CASSETTES, FOUP、FOSB、RSP 和 Clamshell)。 它具有卓越的清洗能力和乾燥效果。

重要特色

  • 光罩/晶圓載具 - 清洗系統
  • 最多樣產品的清洗應用
  • 卓越的 IR 乾燥系統
  • 高傳送流量
  • 優異的清洗及沖洗功能
  • 最低的 CoO