M2200 300mm 晶圓儲存設備

Brooks M2200 是一款全自動 300mm 晶圓儲存設備,可儲存多達 2300 個晶圓。晶圓以垂直式儲存於Compartment中並分區管理,以避免交叉汙染。儲存設備提供快速存取方式至每片單一晶圓的,並可作為Sorter使用。

重要特色

  • 全自動晶圓傳載
  • ISO Class 2 環境
  • ESD 及 AMC 控制
  • N2/XCDA Purge循環模式
  • 艙式溫度及濕度環境控制
  • 1/4 Pitch 的高密度儲存於塑膠模作 Compartment
  • 晶圓校準並以OCR讀取刻號記錄管理
  • FOUP 暫存區便於lot準備
  • 晶圓Sorter功能
  • 自動調校