M2100 200mm 晶圓儲存設備

Brooks M2100 是一款全自動 200mm 晶圓儲存設備,可儲存多達 2200 片晶圓。晶圓以水平式儲存於Compartment中並分區管理,以避免交叉汙染。儲存設備提供快速方式存取每單一晶圓,並可作為Sorter使用。

重要特色

  • 全自動晶圓傳載
  • Class 1 環境/ESD/AMC
  • OCR 晶圓校準
  • 晶圓Sorter功能
  • 自動調校