ZARIS™ 光罩自動化系統

Brooks 提供的 ZARIS 光罩自動化系統可靠地自動化大範圍傳輸與曝光機中晶圓盒 5” 與 6” 光罩的處理 。此業界領先的光罩分揀機/強光巨集檢查/氮清理系統可預防光罩損毀與手動檢查流程經常發生的不當處理。ZARIS 透過以正確的方向一致性地呈現無瑕疵光罩 ,可改善曝光機運用並降低光罩再次修改,以改善作業效率與結果。

採用經實證的記錄,提供可靠的作業與方便的使用,ZARIS 光罩自動化可加速工廠效能,同時最小化光罩與光罩薄膜損壞。 ZARIS補足Brooks一套光罩自動化系統其中包含領先業界的Guardian光罩儲存系統

資料表

重要特色

  • 光罩分類、強光檢查及氮氣清潔光罩表面
  • 細十字線與薄膜識別
  • 使用 ESD 安全材料

選用特性與功能

  • 光罩及/或光罩上薄膜 ID 的光學字元辨識
  • 自動化微粒偵測
  • 薄膜裝載
  • GEM/SECS 連結