M2090 光罩換盒/儲存設備

Brooks M2090 光罩換盒/儲存設備是一款光罩載具交換、檢查和儲存系統。 I/O 介面允許光罩傳送至適用在所有掃描機/步進機的傳送盒之間傳輸,例如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 光罩盒等。儲存架 option 的可儲存光罩設置於設備的後方。

重要特色

  • 全自動 光罩 傳載
  • Class 1 環境/ESD/AMC
  • 光罩儲存
  • 光罩定位
  • 光罩識別碼辨識
  • RF-tag 或 條碼之傳送盒辨識
  • 強光燈目視檢查
  • 可加裝量測儀器
  • N2 Particle blow off