M1995 全自動 Bare Compartment 光罩儲存設備

Brooks M1995 是一款全自動 Compartment 光罩儲存設備,可儲存多達 2860 個光罩。 在超潔淨循環Purge的環境中, 光罩水平的儲存於Compartment。此外,光罩儲存Compartment中亦會受淨化的氣體 Purge。Pod I/O 介面經過設計 , 可容納所有需求的光罩盒種類。

資料表

重要特色

  • 全自動 光罩 傳載
  • N2/XCDA 循環Purge模式,有效減少光罩 Haze 結晶成長
  • 艙式溫度及濕度環境控制
  • ISO Class 1 環境/ESD/AMC
  • Compartment 不斷氣 Purge
  • 小型佔用空間
  • OHT 介面
  • N2 Particle blow off
  • 可加裝量測儀器
  • 抗震性佳 Compartment 光罩儲存
  • 光罩盒暫存模組