M1990 全自動 Bare 光罩儲存設備

Brooks M1990 是一款全自動Bare光罩儲存設備,可儲存多達 2016 個光罩。光罩以垂直的方式存放在抗靜電的支架上,儲存環境以超潔淨循環Purge氣體中。I/O 介面可以設計容納所有種類的光罩盒。

資料表

重要特色

  • 全自動 光罩 傳載
  • N2/XCDA Purge循環模式
  • 艙式溫度及濕度環境控制
  • ISO Class 1 環境/ESD/AMC
  • 高容量 - 設備面積最小
  • OHT 介面
  • N2 Particle blow off
  • 可加裝量測儀器
  • 光罩盒暫存模組