M1500 半自動光罩盒儲存設備

Brooks 半自動 M1500 儲存設備內可儲存多達 1500 個光罩。光罩盒 ID 經過辨識,資料檔案則記錄至設備資料庫中。如此將可提升晶圓廠的光罩追蹤。

重要特色

  • 高容量 - 設備面積小
  • 快速 儲存/取出
  • 人性化 GUI 操作介面