半導體汙染控制

Brooks Automation 提供業界最先進的 FOUP 載具/光罩盒清洗設備和光罩儲存設備套組。我們的產品使用尖端技術的濕度控制和原位量測技術,可解決在 20nm 以下製程之氣態性有機分子汙染、生產力、製程穩定性的所有關鍵難題。

汙染控制產品系列指南

M800 300mm FOUP/Pod 清洗設備