影片: Spartan™ Sorters 晶圓分類處理 | Brooks Automation

Spartan分類機的微粒子控制效能領先業界,並具低持有成本(cost of ownership)、高可靠度、簡易服務及維護之特性。Spartan分類機裝機數超過1,200台,應用於量產作業,係證實成功的晶圓處理平台。