影片:M2-Nano 真空傳送系統群組式平台

M2-Nano 真空傳輸系統是高生產力叢集工具 Brooks Marathon-2 生產線最新的附加裝置。本影片揭露 M2-Nano 系統的真空設備後端部分 (不含必要的 EFEM)。您可以看到高速載出載入腔體及極小化運送腔體,裝載業界領先的 MagnaTran-7 真空機器人。 支援的包括最多三個製程模組及 CE 相容安全通訊中心/內部安全鎖定架構的完整設施。