影片:450mm 設備前端模組(EFEM)

所顯示的 450mm 設備前端模組(EFEM)單位是以一組 300mm 晶片Load Port和兩部 450mm 晶片載入載出機組合,這表示其具有處理兩種晶片尺寸的功能。 您可以在置放於晶片載入載出機上的 450mm FOUP 內看到晶圓。 Pod 門開啟後,大氣機械手臂會抓取兩片晶圓,開始序列處理。 看EFEM 內部接著會顯示被校準的晶片,並依序放置到 450mm 真空傳輸系統的真空載入腔體。