Spartan™ 晶圓分類機

整合型晶圓管理系統使Spartan™分類機在最小空間及複雜度下完成它的核心任務 ─ 以最潔淨和最快方式傳送晶圓。Spartan分類機提供更高可靠度與最佳效率,同時提供領先業界的潔淨度與最少的微粒子。

Spartan分類機的主要特色是容易安裝與維護。此分類機的結構簡單並可擴充,使它容易維護與服務。Spartan分類機完全符合SEMI標準,它有幾種選項以支援各種不同的分類應用。

最大化生產力與獲利率

  • 具備最佳化最小環境,適用於同級最佳無塵狀態,提供優於 ISO Class 1 的效能。
  • 超薄邊緣抓取式雙晶圓處理可針對最嚴苛的應用,達到最快速的交換時間效能
  • 直線動作晶圓引擎提供更簡易、更可靠、便利的設定與疑難排解功能
  • 彈性、可設定的設計與進階軟體支援縮短了循環時間,同時讓您享有簡單方便的整合、服務性與維護。

Spartan分類機的微粒子控制效能領先業界,並具低持有成本(cost of ownership)、高可靠度、簡易服務及維護之特性。Spartan分類機裝機數超過1,200台,應用於量產作業,係證實成功的晶圓處理平台。