VersaPort™ 2200 SMIF-兼容加載機

業界最先進的 VersaPort 200mm 標準機械介面 (SMIF) I/O 處理工具及加載機開啟器。當設計成適用於 200mm 至 300mm 過渡的「橋接工具」,VersaPort 2200 也會為開啟晶圓匣至 SMIF I/O 的處理提供解決方案。

平台裝載 VersaPort 在設計上符合人體工學,可針對卸載與加載所有 200mm SMIF-Pods™ 輕鬆整合 SMIF 汙染控制技術。 VersaPort 同時也是業界最先進的 200mm BOLTS 兼容加載機開啟器。其執行對所有 200mm SMIF-Pods 至 300mm 類別工具的卸載與加載。

以兩者而言,精細的功能組包括雷射型晶圓匣插槽/晶圓對映、交叉插槽偵測、晶圓突出感應以及自動晶圓重新安裝。

最大化生產力與獲利率

  • 您可以透過手動開啟晶圓盒轉換器 (MOCA) 選項使用開啟晶圓盒 I/O 處理。
  • VersaPort 獨特的 「Tilt-n-Go」機械動力介面可提供快速、單人的安裝與簡易的校準。 安裝後不必進行任何校正。
  • SMIF 物染控制技術在各 Federal Std 209-E 提供優於同等級的單一效能。
  • 進階雷射行晶圓偵測功能運用精細的功能組,包括雷射型晶圓匣插槽/晶圓對映、交叉插槽偵測、晶圓突出感應以及自動晶圓重新安裝。
  • IR 型反射行感應器提供過量晶圓突出感應,可在重新安裝功能之外提供偵測晶圓功能,並具備緊急停止與煞車功能。
  • 包括整合式自我測試診斷,且進階診斷軟體可用於簡易設計與問題解決功能。
  • 可程式水平晶圓盒往復選項可讓晶圓校準至 300 mm 標準,並針對修改至工具端自動化提供中線定位。
  • SEMI 與 CE 相容性,適用於低持有成本。