SMIF Load Port Transfer (LPT)

SMIF-LPT (Load Port Transfer) 是一款符合人體工學設計的 SMIF-I/O,輕鬆整合 SMIF-Pod 晶圓匣至各種 200mm 與 150mm 晶圓處理及度量衡工具的加載與卸載。SMIF-LPT 專為適應性與設備製造商在真空放置腔體 工具的應用而設計,需要外部側面轉換機制。

SMIF-LPT 為各種晶圓廠工具提供 SMIF 功能,並引領業界縮短循環時間與更小的佔用空間。

適應性 SMIF-LPT 解決方案

Brooks 適應性 SMIF-LPT 解決方案,適用於開口晶圓匣 200 mm 流程、度量衡及檢查工具提供非 SMIF 工具至 SMIF 的低成本的升級,因而促使現有 200 mm 半導體製造設施以低於 180 nm 的技術節點進行轉換。以下三項設置能解決原始設備製造商工具無法放置晶圓盒的階段:

  • SMIF-LPT Tr 是專為非垂直型晶圓盒替代設計的旋轉磁頭
  • SMIF-LPT Tx 提供橫向晶圓盒移動,符合狹窄型的晶圓盒至晶圓盒的間隔大小
  • SMIF-LPT Ty 具有偏移手臂可容納新的狹窄相室開口
  • 這些功能也可以針對現有的 SMIF-LPT 加以結合或升級
  • 健全的機械動力介面提供快速、正確且可靠的裝載與移除功能 (鉸鏈與閂鎖選項可供設備製造商整合使用)。
  • 晶圓感應與重新安裝系統可防止晶圓破損。
  • 晶圓運輸是以優於 Class 1 最小環境的方式達成,可確保取得最大保護免於微粒汙染。
  • 快速加載與卸載循環時間領先業界。
  • 整合式 SMART-Tag 自動 ID 提供貨品追蹤與控制。
  • 超過 12,000 LPT/LPI 單位的用戶。

最大化生產力與獲利率

  • 健全的機械動力介面提供快速、正確且可靠的裝載與移除功能 (鉸鏈與閂鎖選項可供設備製造商整合使用)。
  • 晶圓感應與重新安裝系統可防止晶圓破損。
  • 晶圓運輸是以優於 Class 1 最小環境的方式達成,可確保取得最大保護免於微粒汙染。
  • 快速加載與卸載循環時間領先業界。
  • 整合式 SMART-Tag 自動 ID 提供貨品追蹤與控制。
  • 超過 12,000 LPT/LPI 單位的用戶。