SMIF-INX 索引器

SMIF-INX 產品提供晶圓索引晶圓盒,專為針對固定式 Z 軸晶圓操作裝置或針對 Z 軸晶圓操作裝置定位至固定式規劃而設計。具備超過15,000 個單位的用戶數,SMIF-INX 擁有經實證的多用途、功能性及可用性。 SMIF 系統的汙染控制已有詳加記載,且透露最新一代 INX 2200 EP 如何明顯提升晶圓廠的晶粒良率。Indexers meet SEMI E15 and E19 specifications and are CE certified.

最大化生產力與獲利率

  • 內部 PTFE-ULPA 過濾系統可維持優於 ISO Class 3 的環境。
  • SMIF-INX 直接裝上製程機台。
  • DC 伺服控制及位置反饋提供高速晶圓索引,對機台製程週期時間造成最小影響,並確保定位正確性為 ±0.005 吋 (0.127mm)。
  • 取得專利的雷射型感應系統提供精細的晶圓與插槽位置、晶圓位置對映、跨插槽晶圓偵測及對突出光罩的感應與自動安裝。
  • 快速中斷組件可提供簡易維護。